EDS元素分析报告.docxVIP

EDS元素解析报告 EDS元素解析报告 EDS元素解析报告 合用标准文案 EDS元素解析 一、实验目的 认识能谱仪〔 EDS〕的结构和工作原理。 掌握能谱仪〔 EDS〕的解析方法、特点及应用。 二、实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪〔 EDS〕是一个重要的附件，它同主机共用一 套光学系统，可对资料中感兴趣部位的化学成分进行点解析、 面解析、 线解析。它的主要优 点有：〔 1〕解析速度快，效率高，能同时对原子序数在 11— 92 之间的所有元素 〔甚至 C、N、 O等超轻元素〕进行快速定性、定量解析； 〔 2〕牢固性好，重复性好； 〔 3〕能用于粗糙表面的成分解析〔断口等〕 ；〔 4〕能对资料中的成分偏析进行测量，等等。 〔一〕 EDS的工作原理 探头接受特点 X射线信号→把特点 X射线光信号转变成拥有不同样高度的电脉冲信号→放 大器放大信号→多道脉冲解析器把代表不同样能量〔波长〕 X 射线的脉冲信号按高度编入不同样 频道→在荧光屏上显示谱线→利用计算机进行定性和定量计算。 〔二〕 EDS的结构 1、探测头：把 X 射线光子信号变换成电脉冲信号，脉冲高度与 X 射线光子的能量成正比。 2、放大器：放大电脉冲信号。 3、多道脉冲高度解析器：把脉冲按高度不同样编入不同样频道，也就是说，把不同样的特点 X射 线按能量不同样进行区分。 4、信号办理和显示系统：鉴别谱、定性、定量计算；记录解析结果。 〔三〕 EDS的解析技术 1、定性解析： EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性解析是解析未知样品的第一 步，即鉴别所含的元素。 若是不能够正确地鉴别元素的种类， 最后定量解析的精度就毫没心义。 平时能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分， 但对于确定次要或微量元素， 只有认真地办理 谱线搅乱、 失真和每个元素的谱线系等问题， 才能做到正确无误。 定性解析又分为自动定性 解析和手动定性解析，其中自动定性解析是依照能量地址来确定峰位，直接单击“操作 / 定 性解析〞按钮，即可在谱的每个峰地址显示出相应的元素符号。自动定性解析鉴别速度快， 但由于谱峰重叠搅乱严重，会产生必然的误差。 2、定量解析：定量解析是经过 X 射线强度来获得组成样品资料的各种元素的浓度。依照实 际情况， 人们追求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法， 再把强度比经过定量修正换 算成浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术是 ZAF修正。 3、元素的面分布解析：在多数情况下是将电子束只打到试样的某一点上，获得这一点的 X 射线谱和成分含量， 称为点解析方法。 在近代的新式 SEM中，大多能够获得样品某一地域的 不同样成分别布状态，即：用扫描观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量其特点 X 射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管 CRT上显示出来， 就获得特点 X 射线强度的二维分布的像。 这种解析方法称为元素的面分布解析方法， 它是一 种测量元素二维分布特别方便的方法。 优秀文档 合用标准文案 三、实验设备和资料 1、实验设备： NORAN System SIX 2、实验资料： ZnO压敏断面 四、实验内容与步骤 〔一〕点解析 该模式赞同在电镜图像上采集多个自定义地域的能谱 。 、采集参数设置 由该模式的目的可知，其采集参数设置包括电镜图像采集参数设置和能谱采集参数设置。对其进行合理设置。 、采集过程 单击采集工具栏中的采集开始按钮， 采集一幅电镜图像。 能够马上采集独立区的能谱， 也能够批量采集多地域的能谱。 马上采集独立地域的能谱 1〕单击点扫工具栏中的马上采集按钮，使其处于被按下的状态。 选择一种地域形状。 在电镜图像上指定地域地址。 等待采集完成。 如想增加一个新地域，单击指定一个新的地域地址。 批量采集多地域的能谱 单击点扫工具栏中的马上采集按钮，使其处于抬起的状态。 单击点扫工具栏中的批量采集按钮，使其处于被按下的状态。 选择一种地域形状。 在电镜图像上指定地域地址。 优秀文档 合用标准文案 重复第〔 3〕、〔 4 〕步，指定多个地域。 (6) 单击采集工具栏中的按钮 ，系统将采集每一个地域的谱图。 、查察信息 单击点扫工具栏中的重新查察按钮。 在电镜图像上单击想要查察信息的地域。 全谱解析模式解析 该模式能够对所采电镜图像的每一个像素点采集一组经过死时间修正的能谱数据。 一旦 采集 并储藏后，就可以在走开电镜支持的条件下，生成能谱进行定性、定量解析，生成面 分布图像、生成线扫描图像、输出报告等。 1、 采集参数设置 该模式下的采集参数设置分为以下两局部： 〔1〕电镜图像采集参数设置 该局部参照 Averaged Acquisition 平均采集参数设置。 2〕面分布图像采集参数设置 单击采集工具栏