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生产车间防静电技术要求
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文件刊行及改正记录表
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范围
本标准规定了本企业生产车间静电防备的技术要求;
本标准合用于本企业产品生产、物料寄存、试验现场的防静电控制。
术语
防静电工作区( EPA)
装备各样防静电设备和器械、 能限制静电电位、 拥有确立界限和特意标记且知足防静电要求, 为成立保护面
积和进行保护性操作所一定配置的设备和工具的统称, 若有静电敏感元器件和组装件操作的生产区和物料寄存区
域。
硬接地(hardground)
直接与大地电极做导电性连结的一种接地方式。
软接地(softground )
经过一足以限制流过物体的电流达到安全值的电阻连结到大地电极的一种接地方式。
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大地电极(earthelectrode)
埋于地下与大地保持优秀的电气连结的金属体或金属体组。
他能够是杆状的、板状的或网状的,为接地系统
供给接大地的基准点。
静电耗散资料(dissipativematerials
)
其表面电阻率等于或大于1×10
5Ω,但小于
1×10
12Ω;或体积电阻率等于或大于1×10
4Ω?cm,但小于1×10
11
Ω的资料。
一般要求
防静电标记符号
在防静电工作区应在显然的地点贴静电防备标记,如图 3-1
3-1静电防备标记
工作人员在进入防静电工作区时,须衣着好防静电工作服、工作鞋。
工作人员对静电敏感元器件、组装件进行操作时,须戴好 ESD防备腕带,并测试合格。
指定人员按期丈量并记录车间环境条件。
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详尽要求
天气与环境条件
温度
EPA内应装有温度调理装置, 以保持其室温在 25±5℃,采纳正确度优于± 2℃的温度计丈量 EPA的室温,并在每
日的同一时间进行丈量并记录。记录表见附表 1
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湿度
EPA内应装有湿度调理装置,以保持室内相对湿度在 30~70%RH范围内。采纳正确度优于± 2%的湿度计丈量
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EPA内的湿度,并在每天的同一时间进行丈量并记录。记录表见附表 1
干净度
保持生产现场干净、整齐。
静电除去器
在对静电敏感元器件或组装件操作的工作台上,应装设静电除去器(离子风机等) ,以除去未翻开的包装件
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上的静电荷和在操作过程中因人体、 工具及其余物件互相摩擦在工件上产生的静电荷。 静电除去器应能除去任何
一种极性的电荷,并在其有效防备地区内使静电位保持在规定值之内,中和能力应优于± 250V/s。
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接地
EPA内应有知足使用功能要求的防静电接地分系统,并经过大地电极分系统接到大地。
防静电接地分系统
EPA的防静电接地分系统包含人体防静电接地、地板防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等,连结方式如
图4-1。除个别指明需采纳硬接地外,一般采纳软接地方式,其接地电阻可由外界电阻、资料内固有电阻或它们的组合组成。
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接地安装注意事项
防静电接地分系统最好与电源地等其余分系统各自独立; 防静电工具、装置等的接地端子同意使用易于拆卸
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的各样夹式连结器,如鳄鱼夹、插针等,但应保证电气连结靠谱。
接地骨干线截面积应不小于
2
2
100mm;支干线截面积应不小于
6mm;设备和工作台的接地线应采纳截面积不小
2
于的多股敷塑导线,接地线颜色应和操作现场其余电源线等的颜色有较大差别。
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各样器械、器具的静电性能
丈量仪器
EPA有关设备安装达成后应按期对其进行检测, 并记录检测结果(检测记录表见附表 2),接地系统的丈量仪器的
量程应为 0~1011Ω,丈量电极为圆柱形,直径 50mm,重量2kg。仪器的输入和输出线与两电极经过鳄鱼夹、连结
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器等便于拆卸的方式连结,丈量时施以 500V电压。
防备工作台面
除非制造工艺要求要使用导 (静)电工作台面,EPA内的工作台面应使用静电耗散资料制成并接地优秀。 ESD
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防备工作台面的对地电阻和表面(点对点)电阻要求见表 1。对地电阻丈量时,将丈量仪器的一端接到工作台与
地线的连结线上,另一个电极丈量五个点取均匀值(如图 4-2)。表面(点对点)电阻丈量时,两测试电极相距
窭憐擠鹈灄该蔭輪鎵癰蛻鲛陳镀榇。
,丈量五组数据取均匀值,丈量时一电极不动,另一电极以 的半径绕固定的电极旋转挪动(如图 4-
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