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真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术. 真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术. PAGE / NUMPAGES 真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术. 真空阴极弧离子镀及 DLC超硬薄膜制备技术 简介： 本系统引入高压脉冲辉光放电技术， 将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结 合，可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜 和磁性薄膜等新型薄膜材料。 TiN 、TiC 、TiCN、TiAlN 等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰 等行业得到日益广泛的应用，类金刚石碳（ DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、 高导热率、 良好的红外透过性、 高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜， 在机 械、电子、光学以及医学等方面有广阔具有应用前景。 市场需求： 机械行业 [  减震器、燃料喷射泵、齿轮、轴承、钢领、活塞、活塞环等  ] 加工行业 [  硬质合金刀具、精密模具、精密加工用锯等  ] 生物医用 [  血管支架、心脏瓣膜、髋膝关节、外科手术用锯等  ] 光学行业应用 [  红外窗口、硅太阳能电池等  ] 电子行业 [  硬盘、磁头、光盘等存储介质、场发射显示器等  ] 陶瓷层性能： 硬度： 500 ~ 2400 Hv ； 耐热性： 1000 ~ 1500 K ； 厚度： ~ 300 m； 粗糙度 ：