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图 2-6 Ga-AsH3-PH3-HCl-H2 系统沉积GaAs1-xPx CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 SiHCl3+H2=Si+3HCl(热丝CVD） 氯硅烷氢还原法生产多晶硅装置简图 CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 碘封管化学输运生长硒化锌单晶 CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 Plasma-Enhanced CVD CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 ECR-CVD(ECR: electron cyclotron resonance) CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 MBE Growth Ultra high vacuum Mass spectrocopy Auger electron spectroscopy Low energy electron diffraction Reflection high energy electron diffraction X-ray and Ultraviolet photoemission spectroscopy Ref: Yu-Cardona CVD课程第2章 USTC固态化学与无机膜研究所 (a) phosphoric anhydride, (b) sodium hydrate particle, (c) ball valve, (