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四、位移传感器 1) 电涡流位移传感器 -非接触式位移传感器 电涡流传感器是一种能将机械位移或振动幅度、转速转换成电信号输出的非电量电测装 置，它由敏感探头（传感头）、变换器（前置器）、连接电缆及被测导体组成，是一种非接触 测量位移、振幅和转速的理想工具。针对不同用途，这种传感器可以配接多种显示记录装置 (如：与数字万用表、面板表及其它直流仪表可以组成用电池供电的便携式位移测量系统；配 上有效电压表、峰值或峰值电压表、射线示波器、振子示波器、磁带记录仪等，可以组成动态 测量系统；与计算机、打印机等可以组成自动测量系统，以便对工业生产中某些过程进行控制 和监测，对零件的尺寸进行自动检测；与计数器连接，可用来对产品或零件自动计数 )，应用 灵活多变，现已广泛应用于电力、机械、交通、国防、科研等领域的振动位移和转速测量。 特 点 非接触测量； 测量范围宽（ 1 μm～50mm ）； 灵敏度高； 分辨率高（最高可达 1 μm）； 动态响应宽（ 0～2KHz ）； 适应性强，可在油、水、高气压、强干扰等环境中工作； 工作温度高（－ 25 ℃～ 80 ℃）； 可配接多种测量、监控仪表，可与计算机 A/D 接口； 可长线传输； 使用寿命长。 工作原理 传感器头端部的电感线圈 L 被高频电流 I 激励，产生高频磁场 Ф，当被测金属导体靠近这 个高频线圈 L 时，由于 Ф的作用，在导体表面产生涡电流，涡电流又产生与 Ф相反的磁场 Фe，以抵抗原磁场的变化。如图 1 所示，这一过程要损耗能量，使线圈 L 的电感量变化，损 耗电阻增加，品质因数 Q 值变低。这些参数的变化量是随被测导体与线圈之间的间隙 δ的大 小而变化的。采用适当的电路检测这个变化量，即可实现位移或振幅的测量。变换原理如图 2 所示。 导体 δ 线圈 L Фi I Фe 图 1 涡流效应 变换级 检波级 放大级 输出级 图 2 变换原理 电涡流位移检测系统 电涡流位移传感器的电气连接示意图如下： 测试或 监控仪表 变 电 缆 换 探头 器 (3m/5m) 直流 稳压电源 电涡流位移传感器测量系统电气连接图 2) 差动位移传感器 -接触式位移传感器 差动变压器式位移传感器是利用差动变压器原理制造的。它可以把直线移动的机械量