QCC短路圈会成果报告.pptxVIP

QCC短路圈會圈會成員： 圈長：賴國城 輔導員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘工作進度六月 : 收集不良樣本，層別不良原因。七月 : 對策實施、數據確認、對策修正。八月 : 全品目水平展開。九月 : 對策數據確認與修正。 對策品目選定依據每月計劃投入LOT數及LOT不良率，我們選定兩個對策品目 : FD0475FS0512 不良現況依據取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨3.其他因素 銅面上異物沾附(膜屑):70.3% 蝕刻不淨:19.1%(FS0512) 其他因素:10.6% 膜屑反沾問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發現，有大量膜屑沾附。觀察顯像後水洗槽的濾網，發現大量膜屑被帶出。我們取樣5月份週保前後各5 LOTs做比對資料來源 : ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日F00565073.50%　　950500%　　950550%　　950550%　　950550%5月14日F02722070.29%　　950513%　　9505-027240100.42%　　950546%　　950517%5月21日F07155031.50%　　950500%　　950500%　　950500%　　950550%　平均LOT不良率 :　1.43%單位 : Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日F01335030.03%　　950506%　　950500%　　950503%　　950503%5月14日F04280020.10%　　950500%　　950510%　　950520%　　950510%5月21日F15837000.00%　　950400%　　950400%　　950401%　　950400%　平均LOT不良率 :　0.04%故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為:1. 濾袋更換，提高過濾效果。2. 藥水更新，提高顯像能力。3. 滾輪清潔、降低反沾機率。要因分析 :膜屑反沾人濾網清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾效果不佳，滾輪排列設計不佳。料濾袋、濾網網目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。對策 :1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用2.增加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標準化4.調整自動添加系統，維持藥水穩定變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機率。將水質PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質與帶出的顯影液再反應。我們測試了12 LOTS，並與測試前做比對。資料來源 : ERP單位 : Pcs對策前對策後製番批號 短路銅殘LOT不良率製番批號 短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%950663%9505-099483302.06%950681%950513%9506-0079880.50%9505-099501030.81%950669%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%950688%9505-099581000.63%950663%950525%950669%9505-099621500.94%950681%9505-099632081.75%9506-0324670.44%9505-099651701.06%950681%9505-0996712111.44%9506-0325370.44%LOT不良率平均 :1.17%LOT不良率平均 :0.66%總投入 : 19200 pcs總投入 : 19200 pcs變更濾網網目我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為48網目，藉以提高過濾效果。濾網變更