洁净度等级的划分标准及比较.docx

精品word 可编辑资料 - - - - - - - - - - - - - 干净度等级标准 干净度等级标准 ISO 14644 依据悬浮粒子浓度这个唯独指标来划分干净室（区）及相关受控环境中空气干净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在～范畴内呈累积分布的粒子群； 依据粒子径，可以划分为常规粒子（～）、超微粒子（＜）和宏粒子（＞）； 空气干净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准） 空气干净度等级 （ N） 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个 / 每立方米空气粒子） um um um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及测量过程