激光调阻原理供参考.pdfVIP

激光调阻（激光调电阻）的原理 为了提高厚膜电路的精度，必须进行阻值调整。由于厚膜丝网印刷操作固有的不准确性，基板表面的不均 匀及烧结条件的不重复性，厚膜电阻常出现正负误差，如果阻值超过标称值将无法修正，但是，一般情况 下印刷烧成后阻值低于目标值的大约 30 ％，所以要通过激光调整达到目标值。 激光调阻系统及修调技术机理 激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上，使工件待调部分的膜层气化切除以达到规 定参数或阻值。调阻时局部温升使玻璃熔化，气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖，可填平基体表面被切割 的介质。 先进的激光修调系统应用了大量的 LSI 、VLSI 电路，以大部分的软件操作代替许多硬件功能。核心部分是 通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。测量系统由采用精密电桥和矩阵组合 的无源网络组成。 先进的激光修调系统具有多种修调功能，可以修调混合集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄 膜集成元件，还可以修调 D/A 和 A/D 转换器的精度， V/F 转换器的频率，有源滤波器的零点频率及运算 放大器的失调电压等。同时还具有 IEEE488 接口，可与其他测试设备进行数据传输。 先进的激光修调系统主要包括以下几个部分： （1 ）激光器部分 采用氪激励的高频 Q 开关、 Nd:YAG 激光器，厚膜修调最小光斑达 38 μm ，脉冲重复频率为 500Hz ～ 50kHz 。 （2 ）光束定位系统 分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。控制光束在 X 和 Y 方向的位置、速度和加速度。缩短光束定位 时间和修调时间，工作效率高。 （3 ）程控衰减系统 由多个衰减器组成，以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。 （4 ）修调设定器 它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变 Q 频率、刻蚀尺寸和 改变切割的修调方向，决定阻值变化，而不影响精度。另外，还具有自动校正功能，在长期工作时可使修 调设定值保持稳定。 5 ）阻值及电压测定装置 采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络，阻值测量精度可达 0.02 ％，测量时间仅为 5ms 。这种设计可 以防止外界干扰，且由于采用差动测量，自动消除偏离及极性转换，还可用来测定有源电路修调时的直流 电压。 （6 ）自动功率测量系统 激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统，激光束通过衰减器 内的 100 ％反射镜，射向热电偶器件，然后送到 1 个多量程功率计。 切割图形 激光调阻时，被切割的电阻体图形主要有以下几种： （1 ）单刀切割电阻法 （2 ）双刀切割电阻法 （3 ）L 型刀口切割电阻法 （4 ）交叉对切电阻法 （5 ）曲线型 L 刀口的切法 （6 ）曲线型 U 型刀口的切法 在实际工作中，主要应用的是前 4 种，对于不同的电阻应根据其方数的不同选择不同的刀口。其中双切和 L 型刀口最为常用，而且调过的阻值稳定性好。 激光调阻技术 ( 激光微调、激光调值 ) 20 世纪 60 年代初激光器问世一来，经过 20 多年的发展，现已成为一种非常成熟的技术，广泛用于混合 电路制造业。国内外不少混合电路厂家都采用激光调阻工艺。与其他调阻技术相比，激光调阻的精度高， 效率高。 现代激光技术是制造高性能混合电路的重要手段。现代激光调阻技术不仅能对厚膜基片进行调阻，而且能 对组装后的混合集成电路进行微调，保证电路的功能。随着混合电路向高性能、高可靠和高密度发展，激 光调阻技术在混合电路制造中的作用日益突出。 激光调阻机是一种精密的激光微调设备，它通过短脉冲激光扫描切割，改变电阻体的导电截面积，达到把 低于目标阻值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内，适用于片状电阻的快速大规模生产。它的主要构成 为：一台输出脉冲频率可调的调 Q 脉冲 Nd:YAG 激光器，输出波长为 1.06 μm 激光，经两轴偏转后，由 光学系统汇聚成 25 μm 直径的光斑，照射到载台上的片式电阻基片上。基片电阻浆料层受激光加热气化， 形成一定深度的刻痕，从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度。高速高精度在线电阻