操作综合手册样本.docVIP

SOP操作手冊 一、 開機 1.1 UV燈源 曝光機與UV燈源為不一样電源供應, 故開啟UV燈源須在機台下方將電源開關另行開啟(以下圖五)。開啟電源後暖機約30秒後, 按下START鈕點燈(按下後放開), UV燈隨即亮起。 START鈕POWER START鈕 POWER 1.2機台操作確認 POWER POWER 1、 打開機台總電源, 確認真空(-22～-25inHG)、 空氣壓力(5kgf/cm2)、 是否達到操作標準。 2、 確認影像系統正常, 螢幕與UV燈為開啟狀態。 3、 確認氣缸位置正常。 ※（電源供應器開機後必須確認風扇是否有正常運轉, 如無正常運轉, 請立刻關閉電源, 並通知維修人員。） 二、 製程操作 2.1照度測試 按下, 即可量測光源強度。（量測順序以下） 2.上升、 降下CCD4.開啟燈源閘門3.將UV燈往右移1.蓋下載台板 2.上升、 降下CCD 4.開啟燈源閘門 3.將UV燈往右移 1.蓋下載台板 ※（反之為歸復） 2.2取放光罩（Mask Loading） 將光罩放置於光罩座上, 對準光罩定位Pin緊密接觸後, 開啟光罩真空, 確認光罩是否被真空吸附住, 有無漏真空。 光罩定位 光罩定位Pin 2.3 參數資料（Data）