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磁透镜 第三十页，共71页。 第三十一页，共71页。 第二节 透射电子显微镜成象原理 光学显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面的微观形貌，它无法获得物质内部的信息。而透射电镜由于入射电子透射试样后，将与试样内部原子发生相互作用，从而改变其能量及运动方向。显然，不同结构有不同的相互作用。这样，就可以根据透射电子图象所获得的信息来了解试样内部的结构。由于试样结构和相互作用的复杂性，因此所获得的图象也很复杂。它不象表面形貌那样直观、易懂。 第三十二页，共71页。 透射电镜电子图象形成原理 1．散射衬度象 ① 单个原子对入射电子的散射： 弹性散射、非弹性散射 ② 散射衬度象成原理 I/I0＝e-N/Aσρt 散射衬度象：样品特征通过对电子散射能力的不同形成的明暗差别象。 2．衍射衬度象 3．相位衬度象 第三十三页，共71页。 电子的散射与衍射 当从电子枪发射的一束电子沿一定入射方向进入物质内部后，由于与物质的相互作用，使电子的运动方向发生改变，这一过程称为物质对电子的散射。在散射过程中，如果入射电子只改变运动方向，而不发生能量变化，称为弹性散射。如果被散射的入射电子不但发生运动方向的变化，同时还损失能量，则称为非弹性散射。 第三十四页，共71页。 由于晶体内部原子的规则排列，使得在某些方向可以观察到很强的衍射电子束，其他方向则无衍射电子出现。晶体对电子束产生的衍射过程都是弹性散射。 第三十五页，共71页。 原子对电子的散射 θ + Rn θ - Re (a) (b) 带负电荷的电子进入物质时受到带正电荷的原子核吸引而发生向内偏转。 受核外电子的库伦排斥力作用发生向外偏转，称为卢瑟福散射。 第三十六页，共71页。 由于电子的质量与原子核相比是一个可以忽略的小量，在电子与原子核碰撞过程中原子核可以认为是固定不动的，原子核对电子的吸引力满足距离平方反比定律。如果原子的原子序数为Z,核电荷Ze，电子的电荷-e，势能为 散射角θ的大小由入射电子与核的距离Rn决定。在半径为Rn的散射截面内，电子的散射角大于θ,有关系式 第三十七页，共71页。 θ很小时， 利用 核外电子对入射电子的散射则为 核外电子对入射电子的散射主要是非弹性的，每次散射的能量损失一般只有几个电子伏特，入射电子束方向的改变也不大。 简化得 第三十八页，共71页。 原子核对电子的散射可分为弹性和非弹性两类，其中弹性散射是电子衍射的基础。 非弹性散射与弹性散射的比值由原子序数Z决定，即电子在物质中的非弹性散射部分仅为弹性部分的1/Z，这是因为原子核内电荷集中，具有较大的散射能力。原子序数愈大的原子，非弹性散射的比列愈小。 第三十九页，共71页。 第四十页，共71页。 第四十一页，共71页。 第四十二页，共71页。 3 透射电镜样品制备 1．陶瓷原料样品 ㈠ 支持膜 ① 塑料支持膜 ② 塑料—碳支持膜 ③ 碳支持膜 ㈡ 粉末样品的分散方法 超声波振荡法、喷雾法、悬浮液法。 第四十三页，共71页。 2．陶瓷制品 ㈠ 复型 ?? (1) 一级复型 ?? (2) 二级复型 （3）衬度的提高 ㈡ 超薄切片与直接薄膜样品 ㈢ 萃取复型 第四十四页，共71页。 第四十五页，共71页。 第四十六页，共71页。 第四十七页，共71页。 第四十八页，共71页。 4 电子衍射及结构分析 电子衍射与X射线衍射的基本原理上完全一样的，两种技术所得到的晶体衍射花样在几何特征上也大致相似，电子衍射与射线衍射相比的突出特点为： ① 在同一试样上把物相的形貌观察与结构分析结合起来； ② 物质对电子的散射更强，约为X射线的一百万倍，特别适用于微晶、表面和薄膜的晶体结构的研究，且衍射强度大，所需时间短，只需几秒钟。 第四十九页，共71页。 1．电子衍射基本公式 Rd=λL =K 2．有效相机常数K的标定 3．单晶衍射花样的分析 第五十页，共71页。 透射电子显微镜仪器分析 第一页，共71页。 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器。尽管复杂得多，它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路设计，简单化的可将其看成放大倍率高得多的成像仪器。一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍，特殊可到数千倍。而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间，有些甚至可达数百万倍或千万倍。 第二页，共71页。