透射电子显微镜.pptVIP

2. 聚光镜（2） 1. 第一聚光镜（CL1）： 为强激磁、汇聚透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子束斑缩小为1～5μm； 照明系统双聚光镜光路系统 CL1 CL2 当电子束斑位于CL1的两倍焦距外（L1＞2f1）时，光斑将缩小（10～50倍）。 此时，物距（L1）不变、可改变焦距（f1）和像距（L2）来满足成像条件。 第三十一页，共85页。 2. 聚光镜（3） 2. 第二聚光镜（CL2） ： 因第一聚光镜焦距很小，无法在其下放置样品及其他附件，故在其（CL1）下面还须加入第二聚光镜（CL2）。 CL1 CL2 照明系统双聚光镜光路系统 第二聚光镜： 弱激磁、会聚透镜，长焦距。 聚焦：对电子束进一步聚焦。（L1＞2f1） 放大：当束斑一次像位于第二聚光镜的略小于两倍焦距（L1＜2f1）位置上，可得放大二次束斑像（约2倍）。 第三十二页，共85页。 2. 聚光镜（4） 3. 双聚光镜优点： ① 可较大范围调节电子束斑大小、强度，以限制样品上被照射的面积。 CL1 CL2 照明系统双聚光镜光路系统 放大倍数愈大，要求照射区域愈小。 CL1保持一般不变，将电子束斑缩小近一个数量级； 通过调整CL2激磁电流和光阑孔径来实现。 第三十三页，共85页。 2. 聚光镜（5） ② 可减少电子束发散度，获得小孔径角、相干性好、尽可能平行的电子束，以获得高质量电子衍射花样。 通过CL1 、CL2可获得束斑为几个 nm 、近似平行电子束。 照明系统： 还装有电子束倾斜装置。 可使电子束在 200～300 范围内倾斜，以便以某特定倾斜角度照射样品。 CL1 CL2 照明系统双聚光镜光路系统 第三十四页，共85页。 二、成像系统－物镜（1） 二、成像系统： 由物镜、中间镜和投影镜（1个或2个）组成。 成像系统作用： 将来自样品的、反映样品内部特征的、强度不同的透射电子聚焦放大成像，并投影到荧光屏或照相底片上，转变为可见光图像或电子衍射花样。 第三十五页，共85页。 二、成像系统－物镜（2） 1. 物镜 作用：形成第一幅高分辨电子显微图像或电子衍射花样。 透射电镜分辨率高低：主要取决于物镜分辨率。故必须尽可能降低其球差（像差）。 物镜分辨率： 决定于极靴形状和加工精度等。 如：极靴内孔和上下极靴间距↓ → 分辨率↑。 目前，高分辨物镜： 球差系数：0.5 mm， 分辨率：0.19nm。 第三十六页，共85页。 二、成像系统－物镜（3） 物镜：为获得高分辨率常采用 ① 强激磁、短焦距（f=1～3mm）像差小，放大倍数高，（100～300倍）； ② 物镜光阑：装于物镜后焦面，孔径有100、50、25μm，小光阑可减少像差、提高图像衬度、并方便进行暗场、衍衬成像操作。 透射电镜成像： 物距 L1 不变，通过改变焦距 f，而改变放大倍数 M ，并和像距（L2）满足成像条件。 第三十七页，共85页。 二、成像系统－中间镜 2. 中间镜 作用：将物镜形成一次像或衍射像投影到投影镜的物平面上，形成第二幅电子显微像或衍射像。 中间镜：弱激磁、长焦距、变倍； 可调节其激磁电流，使放大倍数在0～20倍范围可变。 ① 当 M 1时，放大图像作用； ② 当 M 1时，缩小图像作用； 第三十八页，共85页。 二、成像系统－投影镜 3. 投影镜 作用：将中间镜放大（缩小）像（衍射斑点）进一步放大，并投影到荧光屏上。 投影镜：放大倍数应尽可能大。 投影镜：和物镜一样，短焦距、强激磁透镜。激磁电流固定，放大倍数约为200倍。 高性能透射电镜：用5级放大， 第一中间镜和第二中间镜， 第一投影镜和第二投影镜。 第三十九页，共85页。 成像系统的成像操作光路 1. 显微图像成像操作光路： 当电子束透过样品后，透射电子带有样品微区结构及形貌信息，呈现出不同强度，经物镜后，在像平面上形成中间像1； 调节中间镜激磁电流，使其物平面和物镜像平面重合，则荧光屏上得一幅放大像。这就是成像操作。 图8-4 透射电镜成像系统的成像操作 L2 L1 物镜背焦面 衍射像 第四十页，共85页。 电子衍射 电子衍射: 电子束穿越样品后，便携带样品结构信息，沿各自方向传播。 当某晶面位向满足衍射定律，则在与入射束成2θ角上产生衍射束。 物镜：将自样品不同部位、相同方向的电子束，在背焦面上会聚为一个焦点。 不同方向电子束，形成不同斑点，在物镜背焦面形成衍射斑点花样。 第四十一页，共85页。 成像系统的电子衍射操作光路 电子衍射操作光路： 若调节中间镜激磁电流，使中间镜物平面和物镜背焦面重合，则荧光屏上得一幅电子衍射花样，即电子衍射操作