透射电镜原理.pptVIP

明场像和暗场像成像机理 只有晶体试样形成的衍衬像才存在明场像与暗场像之分。 它不是表面形貌的直观反映，是入射电子束与晶体试样之间相互作用后的反映。 第三十一页，共44页。 SrTiO3陶瓷 TEM明场像 SrTiO3陶瓷 TEM暗场像 明场像与暗场像实物图片 第三十二页，共44页。 * 制样与应用 第三十三页，共44页。 透射电镜专用铜网 支持膜 超薄碳膜 小于10nm的粒子 微栅 管状、棒状、纳米团聚物 普通碳膜 形貌观察 * 第三十四页，共44页。 透射电镜原理 第一页，共44页。 透射电镜简介 第二页，共44页。 概念：透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 简史： 1933年，德国科学家卢斯卡（Ruska）和克诺尔（Knoll）研制出了世界上第一台透射电镜，到今天，透射电镜已经诞生了70多年，由电镜应用而形成的交叉性学科——电子显微学已经日趋完善，电镜的分辨能力也比最初时提高了超过100倍，达到了亚埃级，并且在自然科学研究中起到日益重要的作用。 1.1概念及简史 第三页，共44页。  1.2.1自然光与电子束的波长 可见光的波长在390～760nm 电子波长： 取V=100kV，理论得到电子波长为0.0037nm 1.2分辨率：为什么采用电子束做为光源? 第四页，共44页。 1.2.2显微镜的分辨率 通常人眼的分辨本领大概是0.2mm（即人眼可分辨的两点间最小距离 为0.2mm） 显微镜可分辨的两点间的最小距离，即为显微镜的分辨率 λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，n 是物方介质折射率，n·sinα或N·A称为数值孔径。 第五页，共44页。 采用物镜的孔径角接近90度 考虑采用可见光波长极限390nm的光束照明显微镜系统，可得d 约为200nm 对于TEM在100kV加速电压下，波长0.0037nm，d约为0.002nm，目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率，最小分辨率达到0.1nm 第六页，共44页。 1.2.3有效放大倍数 光学显微镜必须提供足够的放大倍数，把它能分辨的最小距离放大到人眼能分辨的程度。相应的放大倍数叫做有效放大倍数，它可由下式来确定： 第七页，共44页。 光学显微镜的有效放大倍数 透射电镜的有效放大倍数 由上面公式可以直接得出，光学显微镜的有效放大倍数远小于透射电镜。 电子图像的放大倍数为物镜、中间镜和投影镜的放大倍数之乘积，即M=M.Mr.Mp。 第八页，共44页。 透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM）可以以几种不同的形式出现： 高分辨透镜（HRTEM）：JEM2100，点分辨率：0.23 nm，晶格分辨率：0.14 nm，最小束斑尺寸0.5nm 透射扫描电镜（STEM）: 利用磁透镜将电子束聚焦到样品表面并在样品表面快速扫描，通过电子穿透样品成像，既有透射电子显微镜功能，又有扫描电子显微镜功能的一种显微镜。 分析型电镜(AEM):JEM2010HF，点分辨率: 0.25 nm,晶格分辨率: 0.19 nm,最小束斑尺寸1.5nm 1.3分类 第九页，共44页。 按加速电压分类： 200KV为低压透射电镜 加速电压 200~400KV为高压透射电镜 400KV为超高压透射电镜 按照明系统分类： 普通透射电镜和场发射透射电镜 按成像系统分类： 低分辨率透镜和高分辨率透镜 第十页，共44页。 JEM-2100透射电镜外观图 第十一页，共44页。 分析型透射电子显微镜 第十二页，共44页。 基本构造及各部分结构原理 基本构造及各部分结构原理 第十三页，共44页。 基本构造 第十四页，共44页。 图1.透射电镜电子光学部分基本构造示意图 电子光学部分 第十五页，共44页。 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。它的作用：为成像系统提供一束亮度高、相干性好的照明光源；选择照明方式（明场或暗场成像）。 图2.照明系统结构示意图 照明系统 电子枪 第十六页，共44页。 电子枪 灯丝加热电路 flashing电路 W/LaB6灯丝 栅极 阳极 发射体 第一阳极 第二阳极 热电子发射 Thermal Electron Gun 场发射 Field Emission Gun 图3.电子枪工作原理图 第十七页，共44页。 聚光镜 聚光镜的作用是会聚电子枪发射出的电子束，调节照