第4章 精密和超精密加工机床.pptVIP

2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.6 精密机床的稳定性和减振隔振（自学） 4.7 精密机床热变形与恒温控制（自学） 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 自学与思考: （1）影响精密和超精密加工工艺系统稳定性的因素与对策; （2）精密和超精密机床设计中的减振策略与原理； （3）精密和超精密机床的隔振方法与原理； （4）影响精密和超精密加工工艺系统热变形的因素； （5）精密机床的热变形及其危害； （6）精密和超精密机床的恒温控制方法； （7）减小精密和超精密加工环境温度影响的对策； （8）以某精密仪器为例,说明其微进给系统的结构与原理； （9）以某精密仪器为例，说明其微进给运动控制原理； （10）以某精密仪器为例，说明其主轴系统的结构与原理； （11）以某精密仪器为例，说明其直线运动副的结构与原理； （12）以某精密仪器为例，说明其减振策略与原理。 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.1 精密和超精密加工机床概述 1）提高机床加工精度的方法 ——运用加工误差理论,改进加工设备，使其加工精度得以提高。 蜕化加工原则—— 创造性加工原则—— 用比工件精度高的设备加工零件,加工出的零件的精度低于设备的精度。也叫“母性加工原则”——广泛应用的方法。 对精度低于工件精度要求的设备采取合理措施加以改进提高（精化）后,再用来加工高精度零件的方法——实现精密加工的主要途径。 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 2） 蜕化加工原理 加工母机（机床） 工件 精度 1μm 2μm 以滚齿加工为例: 滚齿机分度误差 齿轮的分度误差＝机床分度误差＋刀具误差＋工件安装偏心＋其它随机误差 蜕化加工特点: 加工效率高、成本低,适于批量生产 机床精度必须高于工件精度 加工出的齿轮的分度误差大于滚齿机自身的分度误差 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 3）创造性加工原理 二代母机（机床） 工件 精化后的机床 直接法 间接法 蜕化法 直接法创造性加工—— 对加工用的机床及其工艺系统进行精化,从而提高工件的加工精度。——适用于单件或小量加工高精密零件。 间接法创造性加工—— 研制更高精度的机床及其工艺系统,再按蜕化法来加工高精度零件。——适用于批量精密加工。 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4）机床设计提高加工精度的途径 机床主轴系统 导轨系统 （微量）进给机构 稳固的床身 检测与误差补偿系统 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.2 精密机床主轴系统 1） 关键精度要求: 2） 液体静压轴承主轴系统 主轴回转误差（精度）:≤0.1 μm 刚度大、承载能力强 油压:6-8 MPa 油经过恒温控制; 轴承用恒温水冷却 典型液体静压轴承主轴结构 1-径向轴承； 2-止推轴承； 3-真空吸盘 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 3） 空气静压轴承主轴 允许的转速高; 回转精度高； 刚度低、承载能力小； 气隙:6-15 μm； 气压：0.4-0.8 MPa 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 空气静压轴承主轴示例 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 1） 液体静压导轨 静压导轨的优点: 消除低速爬行 吸振减振 误差迟钝化 减小摩擦阻力 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.3 精密机床导轨系统 2） 气体静压导轨 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 3） 静压导轨的精度 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.4 精密机床进给系统 4.4.1 精密数控系统 1）精密数控系统的基本要求: 主要包括:精密数控系统、进给驱动机构 多轴联动（非球曲面要求:x轴、y轴、B转轴三轴联动） 系统高分辨率:≤ 0.01 μm /脉冲 驱动电机:直流伺服电机或交流伺服电机 闭环控制:位移信号反馈（光栅磁尺、激光测量系统…) 2）典型机床数控系统: 德国——西门子数控系统 日本——发那哥数控系统 中国——兰天数控系统、广州数控系统、… 2021/10/15 * 第4章 精密和超精密加工机床 4.4.2 进给驱动机构 主要包括:精密滚珠丝杠副、液体/空气静压丝杠副、摩擦副 1）精密滚珠丝杠副驱动 精度指标:螺距误差0.5-1 μm;累计螺距误差 3-5 μm/300mm