仪器分析中的真空技术及其原理.pptVIP

涡轮分子泵 Turbo Molecular Pumps 第三十一页，共54页 涡轮分子泵 工作原理： 靠机械运动对气体分子施加作用，并使气体分子向特定方向运动的原理来工作的。涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，以20000-30000转/分的高速旋转，将动量传给气体分子，多级叶片的连续压缩保证了分子泵的高效快速的工作。 第三十二页，共54页 工作参数： 实际抽速： 1000 L/s (决定于泵体口径和转速） 极限真空：10-8 Pa 特点与使用 与旋片机械泵串联使用，需要机械泵抽预真空(1Pa)；无油污染；价格昂贵。 第三十三页，共54页 离子泵 Ion Pumps 第三十四页，共54页 工作原理： 依靠高压阴极发射出的高速电子与残余气体气体分子相互碰撞后引起气体电离放电，而电离后的气体分子在高速撞击阴极时又会溅射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很高，因而它将以吸附或化学反应的形式捕获大量的气体分子并在泵体内沉积下来，实现超高真空的获得。 第三十五页，共54页 工作参数： 实际抽速： 决定于泵体口径和阴极高压 极限真空：10-9 Pa 特点与使用 与旋片机械泵和分子泵配合使用，需要抽预真空(10-6 Pa)；无油污染；超高真空洁净系统；价格昂贵。 第三十六页