微机电系统技术在光通信器件上的应用研究.pdfVIP

目录 1 引 言 1 1.1 论文研究的目的与意义 1 1.2 微机电系统的应用现状介绍 1 1.3 微机电系统在光通信上的应用介绍 2 1.4 论文研究的内容与安排 2 2 微机电系统的基本原理 4 2.1 基本工作原理分析 4 2.1.1 电容效应 4 2.1.2 压阻效应 6 2.1.3 压电效应 7 2.1.4 静电效应 8 2.2 微传感器应用介绍 8 2.2.1 微型压力传感器 9 2.2.2 微型加速度计 9 2.2.3 微型触觉传感器 10 2.2.4 微型生物医学和生物传感器 10 2.2.5 微型光学传感器 10 2.3 微执行器应用介绍 12 2.3.1 微马达 12 2.3.2 微型阀 12 2.3.3 微型泵 13 2.3.4 光微执行器 13 2.3.5 生物微执行器 13 3 微机电系统制造及封装技术 15 3.1 制造技术 15 3.1.1 超精密和特种微细加工技术 15 3.1.2 硅微机械加工技术 17 3.1.3 键合技术 18 3.1.4 LIGA 技术 18 3.2 封装技术 19 3.2.1 MEMS 封装等级及接口技术 19 3.2.2 MEMS 封装流程 21 3.2.3 MEMS 主要封装技术 22 4 基于微机电系统的光通信器件研究 24 4.1 MEMS 光开关技术应用研究 24 4.1.1 MEMS 光开关原理及其实现方式 25 4.1.2 MEMS 光开关应用展望 28 4.2 MEMS 光衰减器应用研究 28 4.3 MEMS 可调谐激光器应用研究 30 4.4 MEMS 光器件研究展望 31 5 结 论 33 景德镇陶瓷学院硕士学位论文 1 引 言 1 引 言 1.1 论文研究的目的与意义 近些年来，在 MEMS 技术中，发展起来了一支极具活力的新技术，即微光机 电系统，它是 MEMS 技术的一个重要的研究方向。作为一种新型的微光学系统， 它由微光学、微电子和微机械这三种重要技术有效结合而产生，在光纤通信领域 发挥着极为重要的作用，有着特别宽广的应用范围。MEMS 被众多研究学者认为 是开启全光通信之门的金钥匙[1][2] ，几乎目前光网络系统当中的各个组成单元都能 够采用 MEMS 技术来制作光学器件。光纤通信技术在实现了超高速、远长距离、 大容量的信息传输后,近年来光通信业务迅猛增长, 为满足业务不断快速增长的需 求，促使现有通信网向全光通信网飞速发展。MEMS