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光电子技术 精品课程 电子科学与技术 精密仪器与光电子工程学院 第一页，共21页 其他类型激光器 6.1 CO2激光器 6.2 He-Ne激光器 6.3 Ar离子激光器 6.4 准分子激光器 6.5 染料激光器 6.6 自由电子激光器 * 第二页，共21页 6.1 CO2激光器 属于气体激光器，分子激光器 波长 9－11um，最常见10.6um 效率高 光束质量好 功率范围大（几瓦～几万瓦） 运行方式多样 结构多样 * 第三页，共21页 CO2激光器工作原理 * 第四页，共21页 CO2激光器的激发机理 上能级的激发 下能级的激发 弛豫过程 辅助气体 N2 CO He Xe H2 H2O * 第五页，共21页 CO2激光器类型 封离型纵向激励CO2激光器 高功率轴快流CO2激光器 高功率横流CO2激光器 横向激励高气压CO2激光器（TEA） 波导CO2激光器 * 第六页，共21页 CO2激光器运行方式 * 第七页，共21页 6.2 He-Ne激光器 气体原子激光器 输出谱线：632.8nm，1.15um，3.39um，以632.8nm为最常见。 功率在mW级，最大1W 光束质量好，发散角可小于1mrad 单色性好，带宽可小于20Hz 稳定性高 * 第八页，共21页 He-Ne激光器工作原理 能级图 * 第九页，共21页 He-Ne激光器工作特性 谱线竞争（3..39