切割裂片基础工艺及技术课件.ppt

各種刀輪切割強度對比(資料來源:Corning) 真圓刀與penett刀輪(實驗面板單板panel) 刀輪的選擇 Penett刀輪切割強度分布均勻,齒數越多強度越大 鑽石刀輪切割強度分布不均勻,容易出現超低與超高的點,不同的刀輪加工方式對強度影響比較大 刀輪角度的選擇 刀輪的選擇 Summary: 齒數越少切割深度越深,可切割面板的厚度越大,所選用的刀輪角度就應大一些; 一般micro penett用來切割單板T=0.4mm以下的面板. BEOL依據實際生產狀況，面板使用1050X360齒刀輪,與廠商建議有點差異. 切割刀輪使用壽命的評估(for SEC) Final Grade S: Strongly A: Recommended B: Average C: Required to improve F: Prohibited 隨著刀輪的磨耗,bending 10% failure load有下降趨勢； 刀輪長度達到4000m時，final grade未達到客戶Samsung的要求。 SS spec: final grade=A Scribe quality monitor by scribing length Confidential 報告單位: BEOL BU/SENG/BSPSE 指導主管: 林仕農 報 告 人: 惠 偉 報告日期: 2009年2月21日 Prepared:惠偉/康傳華 TFTBG玻璃切割技術研討會報告— 切割裂片基礎工藝及技術研究 Content 切割裂片原理介紹 斷裂機理 切割原理 裂片原理 切割裂片基礎工藝研究 切割條件的選擇 裂片條件的選擇 切割刀輪的選定及使用壽命的評估 刀輪的選擇 切割刀輪使用壽命的評估 鐳射切割技術 鐳射切割原理 鐳射發展現況 Content 切割裂片原理介紹 斷裂機理 切割原理 裂片原理 切割裂片基礎工藝研究 切割條件的選擇 裂片條件的選擇 切割刀輪的選定及使用壽命的評估 刀輪的選擇 切割刀輪使用壽命的評估 鐳射切割技術 鐳射切割原理 鐳射發展現況 斷裂機理—微裂紋理論 Griffith微裂紋理論 发生脆性變形的材料,在拉出後會自動形成一些微裂紋，而這些微裂紋的端部正是應力集中的地方,其邻近所贮藏的應变能逐步變成斷裂外表能而使微裂紋進一步扩展,造成材料強度的降低,更進一步的會導致材料的斷裂. 材料的斷裂分为两个過程,一是微裂紋的產生;二是裂紋的擴展. 斷裂過程 切割方式 对于玻璃的微裂紋的产生,有发现玻璃外表结合着极微小的脏粒子,而它和玻璃的 弹性模量或热膨胀性能不同;或者粒子受到腐蚀,裂纹常常就从这些粒子中触发出来. 目前切割製程對玻璃斷裂的實現方式 斷裂機理—微裂紋理論 Inglis微裂紋端部應力集中理論 不管裂紋是圓、椭圓或其他形状,其端部的應力是有裂纹的長度〔 〕和端部曲率半径〔 〕决定的,得出关系式如下: 当外力较小时,裂紋很快到达理论强度,就使裂紋擴展,使 增长，響應系数又增大,如此恶性循环,導致材料斷裂. 上式中 是裂紋尖端处的最大應力, 是外施的應力. 称为應力集中系数, 它的大小说明外力施於材料时,裂紋尖端應力增加的倍数,由 和 决定. 切割原理 在切割时,对刀輪施加一定的切割壓力,使刀輪能在刀座的引導下在玻璃外表劃出一道连续的劃痕,即切割線〔Scribing line〕 目的是为了使玻璃外表產生一定的微裂紋，同時使得產生的微裂紋在外加壓力的作用下，沿着垂直於玻璃外表的方向擴展 切割線〔Scribing line〕可以等效认为是由很多的微裂紋组成,每个微裂紋的長度沿着刀輪切割的方向 由於刀輪在高速旋轉狀態下对玻璃造成的各種破坏現象可以用微裂紋理论来解释. 切割线 切割线等效圖 切割原理 玻璃在切割時,會產生Median Crack和Lateral Crack Median crack:分斷的必須條件,因為玻璃厚度,製造過程影響,產生的Median crack也不一樣 Lateral crack:分斷中最不需要產生的,卻是無法防止,因作用力與反作用力,所以必然會產生,切割應使其減小到最低 切割时玻璃的实际状况 median crack 和lateral crack 不同的刀輪在切割時產生Median Crack和Lateral Crack的狀況 切割原理—Median crack的產生 Median crack的產生 刀輪切入玻璃深度2~5um,在玻璃外表產生許多微裂紋; 刀輪对與玻璃有擠壓作用,會在刀輪的下方形成深为5~10um的破坏区域; 由於微裂紋的端部是應力集中的地方