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高精度激光微位移检测装置及虚拟仿真平台 摘要：针对传统锂电池极片和超薄材料一致性检测中存在效率低、精度不高的现状，构建主动、在线、实时高精度激光微位移检测装置，研究在激光测厚中噪声的来源和特点，采用中值滤波、移动平均、递归平均等算法进行滤波。相对于市面同类产品的静态检测，本装置可实现精度为1 μm 的动态检测。设计并实现了模拟工业环境激光微位移检测装置及虚拟仿真平台，以实现传感器、数字信号处理、单片机技术等多元化专业知识在该平台的融合。 关键词：锂电池；激光微位移；虚拟仿真平台 1、引言 当前随着全球经济的发展，尤其是新兴国家经济体的高速发展，对能源的消耗也越来越高，就锂电池生产行业而言，产业基础研究落后、标准不一、安全问题受限、产业链不完善。为此， 江苏“十三五”科技发展规划明确优先发展新能源车辆，培育大功率、长寿命的锂电池系统以及该电池的关键技术。因此，锂电池涂布机在线测试与控制技术的研究变得日趋重要。锂电池膜厚的在线测量、太阳能电池硅片测量、印刷电阻测高等与新能源新材料的检测上有着广泛应用。 通过对锂电池生产企业的市场调研和有关标准的研究，以及对锂电池生产工艺的分析，影响锂电池的质量主要有电极涂层、隔膜、粘合剂电解液等方面因素。其中，锂电池极片的涂层材料厚度对锂电池的特性具有主导作用，所以控制锂电池极片的涂层材料厚度是控制锂电池质量的一个关键因素。控制锂电池的质量就必须要求生产设备能在线测量锂电池极片的涂层材料的厚度，并能够实时控制。 针对锂电池极片的涂层生产工艺要求，首先从测量系统和控制系统两个方面构建主动、在线、实时、非接触式激光、闭环测厚系统；其次考虑影响测量的环境因素，研究在激光测厚中对噪声的抑制方法；最后控制终端采集生产现场数据，并对生产现场的设备进行控制。采用本项目研制的设备可以使企业节约劳动力，提高自动化水平，降低功耗，帮助企业提高锂电池生产的成品率。 针对工业环境下锂电池薄膜在线生产对厚度实时、高精度检测需求，在完成工业检测设备的基础上移植并创新性地构建设备的模拟工业生产实验系统。该系统包括设备和虚拟检测仿真网站两部分，设备部分由Visual Basic、Matlab和Labview所开发的人机界面控制C型扫描机械机构定点或动态扫描被测物，通过上下激光传感器差分法测量被测物的微米级厚度，被测物所在平台可以由下位机控制定点和动态移动，采用多分辨率小波算法实现高精度测量，精度达到1 μm；虚拟检测仿真网站集合工业生产环境、实验室虚拟3D场景、虚拟3D检测装置、可打包和二次开发软件人机界面以及实测厚度数据，便于通过网络了解工业生产和实验模拟工业生产过程，验证测量数据，并通过软件二次开发实现各种数字信号处理算法。 2、激光测厚的光学原理 光学检测一般分为直射式与斜射式两种形式。由于直射法光斑较小，可解决柔软材料及粗糙工件外表形状位置变化测量的难题。考虑到锂电池涂层材料的性质，更适宜采用直射式三角测量方法，以直射式光学三角法为测量原理，通过数字滤波去除噪音信号，完成对涂层厚度测量。其测试原理图如图1所示。图中，M为被测物面， L为透镜接收屏。当被测物面上光点运动，透镜平面、接收屏N相交于一条直线上时，根据Scheimplug 条件，则接收屏N为像点运动轨迹所在，当被测物面向下移动D时，像点移动了X,根据相似三角形的关系可以推出： (1) (2) (3) 其中，为接收屏上的像点的位移量，为物面位移。 图1 直射式激光三角法测量原理图 图2 上下激光传感器测量原理图 激光传感器基于三角激光位移法，激光测量厚度的基本原理如图2所示。由厚度测量公式W=D-Dl-D2。上、下两激光头之间的固定距离为D，上激光头与铝板上表面的距离为D1，下激光头与铝板下表面的距离为D2，涂层厚度测量值为W。 3、采用光斑分析确定激光传感器入射方向 （a）构建平台 （b）激光传感器正对射入 (c) 激光传感器斜向射入 图3 平台及激光传感器射入时形成的光斑图像 （a）二维微位移调节机构实物图 （b）二维微位移调节机构三维图 图4 二维微位移调节机构 搭建平台(如图3（a）所示），采用光学成像和数字图像处理技术（特征提取、自动识别）建立光斑和激光传感器入射方向的联系（如图3(b)、(c)所示）,最终实现上、下激光传感器完全对准