第三章传感器.pptVIP

第3章　电容式传感器;　　3.1 电容式传感器的工作原理及特性　 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为;　　当被测参数变化使得式（3-1）中的A、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。 如果保持其中两个参数不变， 而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化， 通过测量电路就可转换为电量输出。 因此， 电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。 电容式传感器的电极形状又有平板形、 圆柱形和球面形(较少采用)三种。 图3-1所示为常用电容器的结构形式， 其中， 图(b)、 (c)、 (d)、 (f)、 (g)和(h)为变面积型， 图(a)和(e)为变极距型， 而图(i)～(l)则为变介电常数型。 ;;3.1.1 变极距型电容式传感器　　图3-2为变极距型电容式传感器的原理图。 　　当传感器的ε和A为常数， 初始极距为d0时， 由式（3-1）可知其初始电容量为 ;;;　　测量时， 一般将平板电容的一个极板固定（称为定极板）， 另一个极板与被测物相连（称为动极板）。 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd， 则电容量增大ΔC， 有;当Δdd0时， 式（3-4）可以展开为级数形式， 即;　　由式（3-4）可知， 电容的相对变化量ΔC／C0与输入位移Δd之间的关系是非线性的， 只有