第5章-微传感器和微执行器PPT课件.ppt

第5章 微传感器和微执行器（第1部分）;微传感器的概念 微传感器的分类 基本敏感原理介绍 微传感器的实例 微执行器的分类 基本致动方式介绍 微执行器的实例;微传感器的概念;微传感器的概念;附例：;按传感机理分 压阻、压电、隧道、电容、谐振、热对流 按物理参数分 力（加速度/压力/声） 热（热电偶/热阻） 光（光电类） 电磁（磁强计） 化学和生物医学（血糖/电容化学/化学机械） ;(1)压阻敏感原理;; 1）金属电阻的改变主要由材料几何尺寸的变化引起，因此 起主要作用； 2)半导体电阻的改变主要由材料受力后电阻率的变化引起，因此 起主要作用； 3)半导体的灵敏度因子比金属的高得多，一般在70-170之间。;压阻式传感器输出信号的检测一般需要采用惠斯通电桥;电容式微传感器的基本结构 ;间隙变化型：改变两极板间隙δ 面积变化型：改变形成电容的有效面积A 介质变化型：改变两极间介质的介电常数ε;间隙变化型电容式微传感器;略除高阶无穷小项，得;采用差动电容结构可以大大减小传感器输出的非线性：;(3)隧道电流敏感原理 ; 为直流驱动电压，单位为V； 为隧道电流，单 位为A； 为常数，等于 ； 为有效隧 道势垒高度，单位为eV； 为隧道电极间距