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Wuxi CSMC-HJ Semiconductor Co., Ltd.
无锡华晶上华半导体有限公司
FSI 清洗机培训教材
目 录
一、 FSI 清洗机介绍：
二、 FSI 组成及结构功能：
三、 软件操作介绍：
四、 程序以及输出功能：
五、 流量控制：
六、 Chemical Auto fill 功能介绍：
七、 常见故障以及维修方法：
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一、FSI 清洗机介绍
FSI 用途：FSI 用于圆片的表面清洗系统，可以去除颗粒、金属离
子以及剥离部分氧化膜；
FSI 设备全称： MERCURY MP Surface Condition Division System，
FSI 公司早期的 Spray System Product；
FSI 工作原理：在密封的 Chamber 中,圆片对称放在 Turntable 上，
在 Turntable 的旋转的同时利用N2 把 Chemical 形成高雾化或者低雾
化喷洒在圆片表面，有两个喷嘴：Spray post 和 Side-bowl spray post，
达到去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的，然后用 DI Water
冲洗圆片表面，最后通过 Turntable 的高速旋转（500 rpm）以 N2
Purge 来使圆片的表面干燥。
FSI 用到的原料：主要有 5 种 Chemical:H2SO4，HCL，HF，NH4OH，
H2O2；还有DI Water （去离子水）、 N2 和 CDA （压缩空气）。
FSI 常用工艺菜单：B-CLEAN，S*P5/1，POLY-BCLN，BP-BCLN；
安全措施：设备的每个部分都安装有 Interlock 开关，禁止工艺时打
开门、盖子等组件，如果 Interlock 开关被打开，则会使设备停机，
工艺中断；警告：工艺时禁止对 FSI 清洗机的任何部分进行任何操作。
设备学习参考资料： 《FSI 清洗机操作规范》；
《6”FSI 清洗机 PM 操作规范》；
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二、FSI 组成及结构功能
FSI 由五部分组成，各单元相互独立：
Electronic Consol ；Process Consol ；Canister Consol ；Booster
Pump；Hellos 52 DI Water Heater。（其中前两部分放在白区，后三部
分放在灰区）
结构及其功能：
1. Electronic Consol：监视和控制程序的运行，是系统的核心部
分， 内部由7 个抽屉构成，可以拉出来，便于查看，主要有：
286 的单片机以及控制组件，Touch screen(触摸式显示屏)，
软盘驱动器，流量控制组件以 N2 管路的过滤器和压力调节阀；
2. Process Consol：主要由 Cover、Process Chamber、Motor、
Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLW PICKUP 等，每次
作业可以清洗 6 批圆片，门盖安装了 Spray post, 在 chamber
壁上安装了 Side-bowl spray post，这两个 Spra
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