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- 2021-11-22 发布于广东
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电阻式存储器设备的制作方法
电阻式存储器设备[0001]相关申请的交错引用[0002]本申请要求2019年7月29日在韩国学问产权局提交的第10-2019-0091660号韩国专利申请的优先权,该申请的内容通过引用整体并入本文。技术领域[0003]与实施例全都的办法和装置涉及电阻式存储器设备。背景技术:[0004]用法电阻材料的非易失性存储器的示例包括相变随机存取存储器(phase-change random access memory,pram)、电阻式ram(resistive ram,rram)和磁性ram(magnetic ram,mram)。尽管动态ram(dynamic ram,dram)或闪存用法电荷来存储数据,而用法电阻材料的非易失性存储器用法相变材料(诸如硫族化物合金)的状态变幻(在pram的状况下)、可变电阻材料的电阻变幻(在rram的状况下)、或者按照铁磁材料的磁化状态的磁隧道结(magnetic tunnel junction,mtj)薄膜的电阻变幻(在mram的状况下)来存储数据。[0005]特殊地,pram的相变材料在被加热后被冷却时变成晶态或非晶态。相变材料在晶态下具有低电阻,并且在非晶态下具有高电阻。因此,晶态可以被定义为设置(set)数据或数据0,并且非晶态可以被定义为重置(reset)数据或数据1。技术实现要素:[0006]提供了一种具有充实的读取牢靠性的电阻式存储器设备。[0007]本藏匿不限于本文阐述的实施例。[0008]按照实施例的一个方面,提供了一种电阻式存储器设备,包括:电阻式存储器单元,电衔接到局部字线节点;局部字线晶体管,被配置为将局部字线节点电衔接到全局字线节点;全局字线晶体管,被配置为将全局字线节点电衔接到感测节点;以及裕度补偿电路,包括电衔接到局部字线节点和全局字线节点的裕度补偿开关。[0009]按照实施例的一个方面,提供了一种电阻式存储器设备,包括:电阻式存储器单元,电衔接到位线和字线,该电阻式存储器单元在局部字线节点处衔接到字线,并且该电阻式存储器单元包括具有第一阈值电压的存取元件;局部字线晶体管,被配置为从第一时光点到其次时光点将局部字线节点电衔接到全局字线节点,以将字线预充电到预充电电压;全局字线晶体管,被配置为将全局字线节点电衔接到感测节点;以及字线预充电电路,被配置为生成预充电电压并将预充电电压提供应感测节点。局部字线晶体管还被配置为在其次时光点之后维持截止状态,同时全局字线晶体管将全局字线节点电衔接到感测节点。[0010]按照实施例的一个方面,提供了一种电阻式存储器设备,包括:电源;电阻式存储器单元,电衔接到局部位线节点和局部字线节点;钳位电路,被配置为基于从电源接收的电力提供钳位电压;全局位线晶体管,被配置为从钳位电路接收钳位电压;局部位线晶体管,被配置为从全局位线晶体管接收钳位电压,并将钳位电压提供应电阻式存储器单元;局部字线晶体管,插入在局部字线节点和全局字线节点之间;全局字线晶体管,插入在全局字线节点和感测节点之间;裕度补偿电路,电衔接到局部字线节点和全局字线节点,该裕度补偿电路包括裕度补偿开关;字线预充电电路,电衔接到感测节点;以及感测放大器,包括衔接到感测节点的第一端子和衔接到参考节点的其次端子。附图解释[0011]从下面结合附图的描述中,上述和其他方面和特征将变得越发显然,附图中:[0012]图1是示出按照一些实施例的电阻式存储器设备的框图。[0013]图2至图4是示出按照一些实施例的图1的电阻式存储器单元阵列的图。[0014]图5是示出按照一些实施例的电阻式存储器设备的另一框图。[0015]图6是示出按照一些实施例的电阻式存储器设备的电阻式存储器单元的电阻分布的曲线图。[0016]图7是示出电阻式存储器设备的框图。[0017]图8是图7的钳位单元的示例性电路图。[0018]图9是说明图7的电阻式存储器设备的操作的时序图。[0019]图10是说明图7的电阻式存储器设备的操作的曲线图。[0020]图11是示出按照一些实施例的电阻式存储器设备的框图。[0021]图12是示出按照一些实施例的图11的电阻式存储器设备的裕度补偿电路中的裕度补偿开关的示例性电路图。[0022]图13是示出按照一些实施例的图11的电阻式存储器设备的区域的示例性电路图。[0023]图14是示出按照一些实施例的图11的电阻式存储器设备的操作的时序图。[0024]图15是说明按照一些实施例的包括图13的裕度补偿电路的电阻式存储器设备的操作的曲线图。[0025]图16是示出按照一些实施例的图11的电阻式存储器设备的区
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