激光精密加工技术的现状和展望.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 激光精密加工技术的现状和展望  依据加工对象尺寸与加工精度的不同,将激光加工分为大型件激光加工、精密激光加工与激光微细加工技术三大类。重点介绍了激光精密加工技术,并与传统精密加工方法进行了比较。综述了激光精密加工的国内外发呈现状及该技术的发展前景,并对我国激光精密加工技术的发展提出了建议。  激光材料加工涉及范围很广,材料的烧结、打孔、打标、切割、焊接、表面改性和化学气相沉积等都已把激光作为一种必不可少的能源。  激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特殊适合于精密加工。我们根据加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,将目前的激光加工技术分为三个层次:  ①大型件材料激光加工技术,以厚板(数毫米至几十毫米)为主要对象,其加工精度一般在毫米或者亚毫米级;  ②精密激光加工技术,以薄板(0.1～1.0mm)为主要加工对象,其加工精度一般在十微米级;  ③激光微细加工技术,针对厚度在100μm以下的各种薄膜为主要加工对象,其加工精度一般在十微米以下甚至亚微米级。  必需说明的是,在机械行业中,精密通常是指表面粗糙度小、各种公差(包括位置、外形、尺寸等)范围小。但本文所说的“精密”一词,是指被加工区域的缝隙小,意即加工所能达到的极限尺寸小。在上述三类激光加工中,大型件的激光加工技术已经日趋成熟,产业化的程度已经特别高,已有不少的文献进行了综述;激光微细加工技术如激光微调、激光精密刻蚀、激光直写技术等也已在工业上得到了较为广泛的应用,有关的综述报道亦较多;本文将重点对激光精密加工技术进行争论。为了比较便利,下文所说的精密加工所针对的加工对象仅限于薄板(0.1-1.0mm)。  1激光精密加工与传统加工方法的比较  随着技术的进步,精密加工技术的种类也越来越丰富。其典型特点见表1。 表1常用精密加工特点比较 由表1可见,激光精密加工有如下显著特点:  ①激光精密加工的对象范围很宽,包括几乎全部的金属材料和非金属材料。而电解加工只能加工导电材料,光化学加工只适用于易腐蚀材料,等离子加工难以加工某些高熔点的材料。  ②激光精密加工质量的影响因素少,加工精度高,在一般状况下均优于其它传统的加工方法。  ③从加工周期来看,电火花加工的工具电极精度要求高、损耗大,加工周期较长;电解加工的加工型腔、型面的阴极模设计工作量大,制造周期亦很长;光化学加工工序复杂;而激光精密加工操作简洁,切缝宽度便利调控,加工速度快,加工周期比其它方法均要短。  ④激光精密加工属于非接触加工,没有机械力,相对于电火花加工、等离子弧加工,其热影响区和变形很小,因而能加工非常微小的零部件。  综上所述,激光精密加工技术比传统加工方法有很多优越性,其应用前景非常宽阔。  2常用的激光精密加工设备简介  一般用于精密加工的激光器有:CO2激光器,YAG激光器,铜蒸汽激光器,准分子激光器和CO激光器等,其激光器特性详见文献。其中大功率CO2激光器和大功率YAG激光器在大型件激光加工技术中应用较广;而铜蒸汽激光器和准分子激光器在激光微细加工技术中应用较多;中、小功率YAG激光器一般用于精密加工。  3激光精密加工的应用及国内外发展概况  3.1国外现状  3.1.1激光精密打孔  随着技术的进步,传统的打孔方法在很多场合已不能满意需求。例如在坚硬的碳化钨合金上加工直径为几十微米的小孔;在硬而脆的红、蓝宝石上加工几百微米直径的深孔等,用常规的机械加工方法无法实现。而激光束的瞬时功率密度高达108W/cm2,可在短时间内将材料加热到熔点或沸点,在上述材料上实现打孔。与电子束、电解、电火花、和机械打孔相比,激光打孔质量好、重复精度高、通用性强、效率高、成本低及综合技术经济效益显著。国外在激光精密打孔已经达到很高的水平。瑞士某公司利用固体激光器给飞机涡轮叶片进行打孔,可以加工直径从20μm到80μm的微孔,并且其直径与深度之比可达1∶80(见图1(a))。激光束还可以在脆性材料如陶瓷上加工各种微小的异型孔如盲孔(见图1(b))、方孔等,这是平凡机械加工无法做到的。 图1激光精密打孔实例1a通孔1b盲孔 依据加工对象尺寸与加工精度的不同,将激光加工分为大型件激光加工、精密激光加工与激光微细加工技术三大类。重点介绍了激光精密加工技术,并与传统精密加工方法进行了比较。综述了激光精密加工的国内外发呈现状及该技术的发展前景,并对我国激光精密加工技术的发展提出了建议。  激光材料加工涉及范围很广,材料的烧结、打孔、打标、切割、焊接、表面改性和化学气相沉积等都已把激光作为一种必不可少