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一、填空题(28)
1、 我们公司主要使用的太阳能电池材料是 单晶硅。
2、 化学清洗中HCL的作用去除金属离子 。
3、 我们公司生产的单晶硅片是 N型还是P型硅_P型_。
4、 制绒的目的是:去除表面污垢和金属杂质、去除硅片表面的损伤层、增加 PN结的表面积、形 成绒面减少反射增强阳光的吸收。
5、 制绒工艺化学反应方程式 __SI+NAO田NA2SIO3+H2__
6、 去PSG工艺化学总方程式__SIO2+H1 H2SIF6+H2O__
7、 硅片在切割的过程中所造成的损伤层约 10um左右。
TOC \o 1-5 \h \z 8、 制绒工艺主要控制点 减薄量、反射率、外观、绒面成活率 。
9、 单晶制绒是利用晶体硅的 —100__、—111—不同晶向在—碱溶液—中进行—各向异性
腐蚀的特性。
10、 扩散过程中应用气体 N2、O、 _小n 。
11、 扩散在电池片上主要目的是形成一层 PN结 。
12、 进入扩散间必须经过二次风淋,穿戴好 洁净服 、静电鞋、口罩、 乳胶手套。
13、 扩散方块电阻不均匀度 __v 10% ,同一硅片扩散方块电阻不均匀度 _v 5% 。
14、 检测方块电阻用到 四探针 仪器、测试时扩散面向 上 。
15、 清洗石英器件所需要的化学品 _HF 、_HCL2 ,清洗时应戴好积 防毒面具,防酸服, 戴好乳胶手套、防酸长手套。
16、 POCl3在高温下(600C)分解的反应式为 __(5POCL3A600 3PCL5+ P205),其中生成的 P2O5
在扩散温度下与硅反应式为 (2P2O5+5Si=5SiO2+4P),在有氧气的存在时, POCl3热分解的反应式
为(POCL3+O2=2 P205+6CL2)
17、 PECVD勺中文名称:等离子体增强化学气相沉积。
18、 PECVEDt膜方式有直接式、间接式两种。
19、 镀减反射膜需要用到 SIH4、NH3 N2、压缩空气四种气体。
20、 镀膜是以 膜厚、折射率两个参数为工艺依据,影响镀膜质量的有:管内特气流量比、压强、 功率、时间(或传输速度)、温度。
21、 PECVpg椭偏仪仪器来检测其质量的好坏。
22、 丝网印刷机的压缩空气压强要求 0.6 — 0.8MPa ,真空压强要求 -0.65 — -0.7MPa
24、 丝网印刷有 五 大要素组成,分别是 丝网、刮刀、浆料、工作台以及基片
25、 丝网印刷添加浆料必须遵守 少量多次
26、 烧结炉的作用是 烘干浆料,去除浆料中的有机成分;提高电池片的开路电压和填充因子,使 其具有电阻特性;通过高温烧结,使上下电极形成良好的欧姆接触;提高电池片的转换效率。
27、 烧结炉的流程有 上料区、 烘干区、(预、主)烧结区 、 回温区(冷却区)、 下料区
28、 烧结炉的关机步骤需要注意的是 炉温降到200度以下时 , 才可以停止传送带。
29、测试条件要求光强 1000 土 50W/m2、温度25 土 20C 、光谱分布 AM1.5 。
二、选择题(12)
1、清洗间所涉及的化学品有( ABCD )。
A 氢氧化钠 B 氢氟酸 C 盐酸 D 硝酸
2、 磷硅玻璃是有( BC )组成。
磷 D SiF4
磷 D SiF4
A )
短路电流 D 串联电阻
)
3、 刻蚀工艺会影响电池片的哪项电性能?(
A 并联电阻 B 开路电压 C
4、 下列方程式中属于刻蚀工艺的是( C
A SiF4+2HF H2[SiF6]
B CF4+SiO2 SiF4+CO2 f
C CF4+SiO2 +O2 SiF4+CO2 f
D SiO2+4HF SiF4+2H2O
A三角形 B
A
三角形 B
本反 在心-、々,rrTt ~i=n=T —1=1
金字塔形
C
圆形
D
6、
A
扩放洁净度要求是
10 万级 B 100
C
万级
O
C 1
万级D
1000
万级
7、
8、
9、
电阻测试—C —点。
A 4 B 3 C 5
硅片扩散工艺结束后应抽取
A 5 B 6 C 3
POCl3是一种__D—夜体。
A 白色 B 红色
D 6
A
D 4
C
_片来检测。
浮白色
D
无色
5、单晶绒面呈(B )形。
正方形
10、减反射膜的化学式是。(A )
、CF4+Si+O2=SiF4+CO2+EH2OA
、CF4+Si+O2=SiF4+CO
2+EH2O
C. Si+NaOH=Na2SiO 3+H2 D. H
11、电池片镀膜的厚度是利用光学中的 原理来减少反射。(C )
A、光程差。 B 、相长干涉
C、相消干涉 D 、光的衍射
12、电池片SiNx : H薄膜镀膜厚度和折射率一般控制在( B )
A、65nm, 1.8 —1.9C. 85+5nm, 2.2---2.3
A、65nm,
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