位移传感器的技术发展现状与发展趋势_刘焱_图文.(精品文档)_共16页.docxVIP

《自动化技术与应用》２０１３第３２卷第６期 收稿日期：２０１３－０５－０９ 位移传感器的技 术发展现状与发展趋势 刘 焱，王 烨 （中国电子科技集 团公司第四十九研究所，黑 龙江 哈尔滨 １５０００１） 摘 要：位移传感器是新技 术革命和信息社会的重要技 术基础，是实现测试 与自动控制 重要环节。综述了位移 传感器的技 术发展现状， 着重介 绍和比较了主要 类别传 感器的工作原理、 应用场合及优缺点，列举了一 些位移 传感器的 应用实例，并对其未来的 发展趋势做了展望。 关键词 ：位移传感器； 现状； 发展趋势；分类；应用 中图分类号：ＴＰ２１２ 文献标识码 ：Ａ 文章编号：１００３－７２４１（２０１２）０４－００７６－０６ Present Status and Thrend of Technical Development of Displacement Sensor LIU Yan, WANG Ye ( The 49th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Harbin 150001 China Abstract: Displacement sensor is also an important technical foundation of new technological revolution and information society, and is an important links to realize testing and automatic control. The present status of displacement sensor is reviewed,and the working principles , application , advantages and disadvantages of the major classification sensor are focusedon, and some application exmples of sensor are listed. At last possible future displacement trends of displacement sensorare discussed. Key words: displacement sensor; present status; development thrends; classify; application １ 引言 传感器技 术是现代科技的前沿技 术，是测量技术、半导体技术、计算机技术、信 息处理技术、微电子学、光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交 叉的综合性高新技 术，是现代信息技 术的三大支柱之一。位移是指物体位置 对参考 点产生的偏移量，是指物体相 对于某参考坐 标系一点的距离的 变化量，它是描述物 体空间位置变化的物理量［１］。位感器又称 为线性传感器，是将位移转换成电 量的传感器。 位移传感器的 发展经历了两个 阶段， 经典位移 传感器阶段和半 导体位移 传感器 阶段。２０ 世纪 ８０年代以前， 人们以经典电磁学为理论基础，把不便于定量检测和处 理的位移、位置、液位、尺寸、流量、速度、 振动等物 理量转换为易于定量 检测、便于作信息传输与处理的 电学量［２］。近２０年来， 位移传感器种 类繁多， 应用领域不断 扩大，同时有越来越多的 创新技术被运用到 传 感器中，如基于ＯＥＭ的ＬＶＤＴ（ＬｉＶｎａｅ ｒｒ ｉａｂｌｅ ＤｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌＴｒａｎ 术ｆ、ｏ 超ｒｍ声波ｅ技ｒ）术、［３磁，致４伸］缩技术、光纤技术、时栅 技术 ［５］等，位传移感器技 术已取得了突破性 进展。由于技术的进步，使得各种传感 器性能大幅度提高，成本大幅度降低，从而极大地 扩展了应用范围，形成了一个高速 增长的产业。 ２ 位移传感器的分 类与发展现状 ２．１ 位移传感器原理分 类 由于位移 传感器的工作原理、安装 测量方式和所 测量的被 测量不同，其分类也 各不相同，本文将按 测量原理介 绍位移传感器的分 类。 仪器仪表与检测技术 Instrumentation and Measurment 《自动化技术与应用》２０１３年第３２卷第６期 | 77 （１） 电位器式 电位器位移 传感器分