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PAGE 1 PAGE 1 发展中的MOEMS压力传感器  微型光机电系统（MOEMS）技术是一门新兴的技术，其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面，而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无可比拟的优点。本文着重介绍了MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺，并简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺。  一、引言  微型光机电系统（MOEMS）是微光学、微电子和微机械三者结合的产物，也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。作为光电信号转换系统，MOEMS的应用遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。利用MOEMS技术制作的新型光器件，介入损耗小，光路间相互串扰极低，对光的波长和偏振不敏感，并且通常以硅为主要材料，从而使器件的光学、机械、电气性能优良；而且，由于采用了模块化设计，更加便利了扩展应用。  与MEMS系统相比较，MOEMS系统的结构并不复杂，可是实际制造的复杂程度更高，实施的困难更大。因为系统必需留出一条光通道，但是其核心芯片却要密闭封装以防敏感的光学器件受到外界光线的影响，其关键是选用何种材料在密闭封装内做出导光盖或天窗。目前虽有多种材料可供选择，但是大多数天窗都采用陶瓷或金属以确保良好的密封性能。  与传统工艺的传感器相比，用MOEMS技术制作的传感器具有很多优点，如可以在严酷的环境下工作，有很大的传输带宽、很高的灵敏度、响应速度很快；而且，当光解调技术被应用以后，可以实现多传感器之间的相互问询。如在一个MOEMS传感器阵列中使用波分复用（WDM）技术后，信号的收集就会变得更简洁；同时，与以前使用电解调相比，效率也大为提高。  二、MOEMS压力传感器的分类及结构  光学压力传感器是MOEMS传感器中的一种，因为使用了单模或多模光纤，又被称为光纤压力传感器。依据测量原理，光学压力传感器有几种主要的类型：光频率式压力传感器、光强式压力传感器、相位式（干涉式）压力传感器和偏振光式压力传感器，而这其中，偏振光式压力传感器可以被看成是光强式压力传感器的一种。  光强式压力传感器是结构最为简洁的一种，它由光源、光纤束、硅膜和信号接收器构成，其中，光纤束由一根传送光纤和围绕在它四周的接收光纤组组成。光源一般采用发光二级管，其发出的光束经过传送光纤到达硅膜，从硅膜反射后，接收光纤组将其传送到信号接收器，最终转换为电信号输出。这种传感器的精度虽然不太高，但是结构简洁，制作起来相对简洁。  相位式压力传感器是我们介绍的重点,它有两种类型：一种为内置珐珀（Fabry－Perot）干涉仪式，另一种是内置非平衡Mach—Zehnder干涉仪式。珐珀干涉仪式的主结构（见图1）由传输光纤、一个带圆柱型空腔的玻璃基底和硅膜组成，硅薄膜掩盖在空腔的一面，光纤则穿过玻璃板，把光束垂直入射到硅膜和空腔的交接面上。空腔的两面上各有一个半透膜，这个半透膜可以是金属膜或是介质膜，这样便组成了一个珐珀干涉仪。工作时，光源发出的激光束经过正弦调制后照耀硅膜，硅膜汲取光能后局部发生形变，形变周期与调制光的周期全都，因此当光源的调制频率与硅膜的微形变固有频率全都时，硅膜的周期形变演变为谐振。入射光在光纤末端反射的部分与在硅膜表面反射的部分之间会形成干涉，测得的干涉光强的调制频率就是硅膜的谐振频率。当待测压力引起薄硅膜的形变时，两个半透膜之间的距离发生转变，这种转变会导致整个空腔的谐振频率产生变化，使谐振频率与待测压强形成对应关系。这种结构的关键参数是硅膜的厚度、空腔的的深度和空腔的直径，正确的选择这几个参数可以保证传感器在不同的压力范围内能够产生线性的响应。  图1Fabry-Perot干涉仪式压力传感器结构图  这种压力传感器有两大优点：一是高灵敏度，比如说当硅膜的形变只有0.25μm时，其反射系数可以从0.5变化到0；而且，协作高强度激光，该种传感器能够产生很高的辨别率。第二个优点是体积小，而第三个优点则是对源功率波动不敏感。当然，这种传感器也有一些缺点，最明显的就是结构复杂和工艺要求较高。空腔内的两个半透膜必需保持适当的距离，且还必需特别光滑，这一切都给制造工艺带来了很大的困难。  相位式光学压力传感器的另一种类型是基于非平衡M—Z干涉仪的压力传感器。它是由在同一个硅片上加工出的力敏硅膜和一个非平衡M—Z干涉仪组成的。M—Z干涉仪的一臂（感应臂）放置在硅膜的边缘，而其另一臂（参考臂）则远离硅膜。在工作状态下，光源发出的光束经过一个波导管分为等强度的两束光,它们在不等长度的两干涉臂中传输后产生一定的光程差，相位因此不同，最终在另一个波导管中产生干涉并输出。当压力使