第4 电容体式传感器.pptVIP

4.2.2 容栅式传感器的特点 与其它电容式传感器一样，容栅式传感器各极板间的电容值很小，一般为几pF到几十pF，形成的阻抗值很大，所以该传感器有下述特点： 1.能量低，极板间静电力小，能耗小，因此适用于输入能量低，要求耗能低的测量问题，比如用电池供电的测量场合； 2.动态响应快，其输出信号与输入位移的响应快； 3.能在高温，恶劣环境下工作。 但容栅式传感器也有缺点。其电容值小，阻抗大，易受引线、接地、外壳等外界干扰，对后续放大器也要求很高。处理方法有： 4.提高电源频率。由于容抗是频率的倒数，频率的提高使容抗值下降，所以给容栅式传感器供电的信号一般先进行高频调制； 5.采用高输入阻抗运放作放大器，以减小在放大环节的信号衰减； 6.采用带通或选频放大技术，对信号频率进行放大而滤去低频信号； 7.采用屏蔽，将传感器和测量电路装在屏蔽壳体中，减少寄生电容和外界干扰影响； 8.提高工作电容值，在极板间加入介电常数高的绝缘材料，并减少极板间的间距； 9.减小极板厚度，增大极板宽度，以削弱极板的边缘效应和非线性误差。 4.2.3 容栅式传感器的信号处理方式 1.调幅式信号处理 P B U1 A S1 S2 测量转换系统 方波发生器 显示装置 L0 L0 L0 0 x U2 Um 位置b Um1 Um2 9 1 2 3 4 5 6 7 8 P l0 9 1 2 3 4 5 6 7 8 P Um1 Um2 位置a 图4.14 调幅式测量系统原理图 调幅式测量系统原理如图4.14所示。图中A、B为动尺上的两组电极片，P为定尺上的一片电极片，它们之间构成差动电容器CA、CB。动尺上的两组电极片各由4片小电极片组成，在位置a时，一组为小电极片1~4，另一组为5~8，给两组电极片分别加以同频、等幅、反相的矩形交变电压Um1、Um2。 2.调相式信号处理 容栅式传感器动尺上的发射电极片E每8片一组，将8个等幅、同频、相位依次相差π/4的方波电压U1~U8分别加在电极片上。根据谐波原理，方波由基波与高次谐波之和组成，因此仍可用正弦波理论进行讨论。设动尺相对定尺的初始位置及每个小发射电极片所加的激励电压相位如图4.15(a)所示。各发射电极片与反射电极片M (或称中间电极片)全覆盖时的电容均为C0，如图4.15(b)所示，当位移 (发射电极片宽度)时，在反射电极片M上的感应电荷为： 4.3 电容式传感器的应用 4.3.1 电容式传感器的设计及应用要点 在电容式传感器设计及应用时应遵循如下几项原则： （1）在结构设计及确定几何尺寸时，应尽量提高传感器的电容; （2）因极间距离很小，必须严防能够引起气隙锈蚀的潮气、尘土和蒸汽。 （3）电容式传感器设计时的重要问题之一是电极板的绝缘和固定。 （4）为了使电容式传感器极板之间的距离不随温度变化，必须选用具有相应线膨胀系数的材料，以减小传感器的零点漂移。 （6）传感器的容许工作电压决定了击穿电压。 （7）电容式传感器的初始电容量很小，一般为20~100pF，而传感器的联接电缆却很长，屏蔽电缆本身电容很大，每米可达几pF~数百pF。当较长的屏蔽电缆的电容与传感器电容相并联时，传感器的电容相对变化大大降低，因而使传感器的灵敏度降低。 （8）因为电容式传感器除了极板间的电容外，极板还可以与 周围物体之间产生电容耦合，这种附加的寄生电容，对传感器的稳定工作极为不利。 （5）在给定电容的情况下，传感器的输出阻抗随电源频率升高而降低，所以电源电压频率的选择应不低于500~1000Hz，而大多数测量电路的工作频率为105~107Hz。 4.3.2 电容式传感器的应用举例 1、电容式液位计 聚四氟乙烯外套 棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之间的电容变大。 电容式液位限位传感器 液位限位传感器：当液位到达设定值时，它输出低电平。但也可以选择输出为高电平的型号。 液位限位传感器的设定 设定按钮 智能化液位传感器的设定方法：用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信号和控制信号。 智能化液位限位传感器的设定按钮 超限灯 正常工作指示灯 设定按钮 电源指示灯 2、加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为2.7～5.25V，加速度测量范围为数个g，可输出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的PWM 脉冲。 差动式电容加速度传感器结构 两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两