2021年中国特种气体行业短报告.pdfVIP

2021年 中国特种气体行业 短报告 2021.12 目录 Ø 第一章 特种气体行业概述 04 • 特种气体行业定义与分类 05 • 中国特种气体行业发展历程 06 • 全球及 中国特种气体行业市场规模 07 • 中国特种气体行业产业链分析 09 • 中国特种气体行业竞争格局 10 • 中国特种气体行业发展趋势 12 Ø 第二章 行业典型企业介绍 13 • 广东华特气体股份有限公司 14 • 苏州金宏气体股份有限公司 15 • 江苏南大光电材料股份有限公司 16 名词解释 u 特种气体 ：是指在特定领域 中应用的对纯度 、品种 、性质有特殊要求的气体 。 u 化学气相沉积 ：一种化工技术 ，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质 、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。。 u 刻蚀 ： 半导体制造工艺，微 电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相 当重要的步骤 。 u 掺杂 ：指多种物质混杂在一起 ，在化工、材料等领域 中，掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能，有 目的在这种材料或基质 中，掺入少量其他元素或化合物。 u 离子注入 ：把掺杂剂的离子引入 固体 中的一种材料改性方法。 u MO源 ：即高纯金属有机化合物，是半导体微结构材料的支撑材料 ，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度 、更低的噪音和更大的功率。 行业概述 p 特种气体经过了30年的发展和沉淀，国产化 具备 了客观条件 p 2016年中国的特种气体市场规模为156亿元， 至2020年达到282亿元 p 中国半导体 电子特种气体市场被国外同行业 巨头垄断，占据超85%的份额 p 特种气体技