《薄膜材料及其应用》教学大纲.doc

《薄膜材料及其应用》课程教学大纲 课程代码： MSEN2017 课程类别：通识教育课程（或大类基础课程、专业教学课程、全校性任意选修课程等） 授课对象：材料专业 开课学期：秋季 学 分：2学分 指定教材：郑伟涛编著，《薄膜材料与薄膜技术》，化学工业出版社，2008年 一、教学目的： 了解薄膜材料科学在材料科学中的地位，薄膜的概念、分类、组成和特点；综述了现有的溶胶-凝胶法、L-B膜法、电化学沉积法、化学汽相沉积、低能团簇束沉积法、真空蒸发法、溅射沉积、分子与原子束外延、分子自组装等薄膜制备技术；概括薄膜材料的表征方法；介绍目前应用和研究的主要薄膜材料，重点讲述各种功能性聚合物薄膜、膜分离技术和有序纳米结构薄膜。 二、课程内容 第一章 前言 1．教学内容 第一节 薄膜科学发展史 薄膜的概念 薄膜科学发展史 我国薄膜科学发展史 薄膜材料科学的发展 第二节 薄膜材料和分类 按薄膜的材料分类 按薄膜的结构分类 按薄膜的用途分类 按薄膜的作用机理分类 按薄膜的厚度分类 2．教学要点 区分涂层（coating）、层（layer）、箔（foil），明确膜、厚膜、薄膜（thin film） 的概念，确定本课程的讲解范围：固体的一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度；介绍薄膜的研究及其技术发展史；介绍我国薄膜科学发展和薄膜科技的学术团体；介绍薄膜材料在材料科学中的地位和作用；各种薄膜材料和分类。 薄膜的制备方法和技术 1．教学内容 第一节 薄膜制备的化学方法 热生长法：在一定气氛下，通过加热基片的方式值得薄膜的方法 化学气相沉积：气体与气体在包含基片的真空室中相混合，在适当温度下，气体发生化学反应将反应物沉积在基片表面最终形成固体薄膜。 电镀：电流通过导电液（称为电解液）中的电流而产生化学反应，最终在阴极上（电解）沉积某一物质的过程。 化学镀：不加任何电场、直接通过化学反应而实现薄膜沉积的方法叫化学镀。 阳极反应沉积法：电流通过导电液（称为电解液）中的电流而产生化学反应，最终在阳极上（电解）沉积某一物质的过程。 LB技术：利用分子活性在气液界面上形成凝结沫，将该膜逐次叠积在基片上形成分子层（或称膜）的技术，该技术由Katharine Blodgtt 和Irving Langmuir 在1933年发现，因此这一技术称为Langmuir-Blodgett（LB）技术。 薄膜制备的物理方法 真空蒸发：在真空环境下，给待蒸发物提供足够的热量以获得蒸发所必须的蒸汽压，蒸发粒子在基片上凝结，即可实现真空蒸发薄膜沉积。 溅射：在某一温度下，如果固体或液体收到适当的高能粒子（通常为离子）的轰击，则固体或液体中的原子通过碰撞有可能获得足够的能量而从表面逃逸，这一将原子从表面发射出去的方式称为溅射。 粒子束和离子助：应用与离子相关的技术制备薄膜。 外延膜沉积技术：外延是指沉积膜与基片之间存在结晶学关系时，在基片上取向或单晶生长同一物质的方法制备薄膜。 旋涂、浸涂和浇注法：把成膜物质配成一定的溶液，滴加在在高速旋转的基片上形成薄膜叫旋涂；把基片浸入成膜物质溶液，在基片上形成的薄膜叫浸涂薄膜；活着将成膜溶液在基片上挥发溶剂而成的薄膜叫浇注薄膜。 分子自组装:成膜物质在一定基片上自组装成的薄膜。 聚合物薄膜的制备方法 挤出吹膜法 挤出流延法 溶液流延膜法 压延成型法 2．教学要点 薄膜制备的化学方法：热生长法、化学气相沉积、电镀、化学镀、阳极反应沉积法、LB技术；对于无机非金属和金属材料薄膜制备的物理和化学方法：真空蒸发、溅射、粒子束和离子助、外延膜沉积技术；旋涂、浸涂和浇注法、分子自组装；聚合物薄膜的制备方法：挤出吹膜法、挤出流延法、溶液流延膜法和压延成型法。 薄膜的表征 1．教学内容 第一节 薄膜的厚度控制及测量 一、薄膜沉积率和厚度监测仪 二、薄膜厚度的光学测量方法 三、薄膜厚度的物理测量方法 第二节 薄膜的组分表征 一、卢瑟福背散射（RBS） 二、二次离子质谱仪（SIMS） 三、X射线光电子能谱（XPS） 俄歇电子能谱 电镜中的显微分析 第三节 薄膜的结构表征 衍射参数 热振动与Deby-Waller因子 低能电子衍射（LEED） 椋入射角X射线衍射（GIXS） 透射电子显微镜 第四节 薄膜的原子化学键合表征 一、能量损失谱（EELS） 二、扩展X射线 三、红外吸收光谱和拉曼光谱 第五节 薄膜的应力表征 2．教学要点 薄膜的厚度控制及测量技术；分析薄膜的元素、组成和比例；薄膜的结构表征；薄膜的原子化学键合表征；薄膜的应力表征。 功能性聚合物薄膜 1．教学内容 第一节 功能性农用聚合物薄膜 一、农用塑料薄膜种类 二、聚乙烯农膜及其性能 三、其它功能农膜 第二节 收缩聚合物薄膜 一、热收缩薄