静电放电ESD防护培训教材.ppt

页眉 静电对零件的危害 一.各种组件的静电敏感度 第十九页，共四十九页。 静电对零件的危害 二.半导体不良的成因 第二十页，共四十九页。 静电对零件的危害 三.电子产品静电损伤的特点一 损伤具有隐蔽性: 人体带电是电子产品静电损伤主因，几KV的人体静电，对人而言放电感受几乎没有，对元器件却是致命的. 失效分析的复杂性: 电子产品有精，细，小的特点，失效分析相当，静电损易于同其它损伤混淆。 第二十一页，共四十九页。 静电对零件的危害 电子产品静电损伤的特点二 损伤具有潜在性: 有些元器件在损伤后并不马上表现出来，只是性能下降，并不马上失效。 损伤的随机性: 只要电压超过或接近静电敏感电压阀值，就可能发生静电损，在生产的各个环节，包括成品运输等都可能产生ESD损伤。 第二十二页，共四十九页。 静电对零件的危害 四.电子产品静电损伤的形态一 A.突发性完全失效 自身短路,开路,功能丧失,参数变异. 电压相关失效:介质击穿,PN节反向漏电. 功率相关失效:金属等烧断,硅片局部区域融化,PN节边缘损伤等,这类失效占静损伤的10%. 第二十三页，共四十九页。 静电对零件的危害 电子产品静电损伤的形态二 B.潜在性缓慢失效 带电体电位或能量较低,一次放电没有完全损伤失效,使器件内部轻度损伤,但有累计效应,使器件性能变坏,可能突然失效,难以检测和筛选,造成产品质量发生信赖性问题. 第二十四页，共四十九页。 静电对零件的危害 电子产品静电损伤的形态三 静电的累积破坏 – 负伤而行 负伤而行（Walking Wounded）––– 许多实验证实静电能使半导体负伤，但不致立即完全破坏其功能，而且有多数这些『负伤而行』的组件都能通过测试直到这些组件送到客户之后，随时会从『负伤而行』变成完全失效。 第二十五页，共四十九页。 静电对零件的危害 静电的累积破坏实例负伤而行 下面是一ESD累积破坏的试验:(应用HBM方式) 试验条件： 试验结果： 材料：54s163 测试前 I=2.883μA PASS 人体电容：100pf 第一次 I=2.883μA PASS 每次放电：50V 第二次 I=2.890μA PASS 放电次数：5次 第三次 I=2.890μA PASS 测试点：Vin=Pin2 (A) 第四次 I=1.872mA FAIL GND=Pin8 (B) 第五次 I=2.147mA FAIL 第二十六页，共四十九页。 静电防护 一.为什么要做ESD控制 避免灰尘吸附 减低组件被破坏 减少产品失效或运作不稳定 避免人员受伤 预防火灾或爆炸发生 每年因静电不当释放所造成损失高达数十亿美金以上 第二十七页，共四十九页。 静电防护 二.如何控制ESD 设计上加强组件的免疫力 对许多集成电路,厂家在器件的输入/输出口上多加了一些防静电保护电路,使器件的防静电能力大大提高 消除或减少静电的产生 尽可能使用防静电材料作为加工的辅助材料常用方法有增加湿度,抗静电涂布,屏蔽法 安全的释放与中和静电 控制各制程段不同材料在使用中保持零电位常用方法有穿静电衣,使用静电消除器 第二十八页，共四十九页。 静电防护 三.常用静电防护材料及使用方法: 1. 静电环– 由伸缩导线(内含1MegaΩ ±10%电阻)腕带及接头所构成。 配带静电环时必须注意到： (a)静电环腕带之金属片必须与手腕皮肤紧密接触,不可松脱或套于衣袖上 (b)为确保1MΩ电阻之有效性,严禁用力拉扯静电环的伸缩导线 (c)接头必须固定妥当,当接头未接地妥当时,不得碰触材料 (d)静电环在作业当中严禁擅自借给他人 第二十九页，共四十九页。 静电防护 常用静电防护材料及使用方法: 2.防静电手套 规格:106Ω ~ 109Ω 功用:防止手汗中的有机物氧化PCB 3.导电鞋 规格: 900KΩ ~ 35MΩ 原理：人体通过鞋底与大地构成回路，以使人体 产生的静电能向大地泄漏掉；同时还使鞋 垫成为静电泄漏的电气回路 第三十页，共四十九页。 静电防护 常用静电防护材料及使用方法: 4.静电衣 规格:104Ω ~ 109Ω 清洗标准:中性水(水温不可超过30℃)配合中性洗.洁剂轻揉后晾干严禁熨烫,用刷子刷衣服 功能:防止服装的静电积累，宣泄人体与衣服摩擦时所产生的静电 第三十一页，共四十九页。 静电防护 常用静电防护材料及使用方法: 5