第九章 湿敏传感器.pptVIP

图9-21 MHS1100相对湿度的关系曲线 MHS1101，传感器长期处于饱和状态后可瞬间恢复。由于采用固态多聚物使其可适用于包括浸在水中的自动装配过程。其电容湿度曲线如图9-21所示 ，可以看出属于线性关系。图9-22为湿度传感器的线性输出应用电路 。 图9-22 湿度传感器的线性输出应用电路 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.6.1 湿敏二极管 SnO2湿敏二极管的结构如图9-23所示。它采用尺寸为2 mm × 2 mm、厚约200 μm、电阻率为5 Ω?cm的N型硅单晶材料，放入石英管道炉中通入氧气和水汽氧化10 nm厚的SiO2层。 当SnO2湿敏二极管加恒定反向偏置电压和负载时，会使二极管处在雪崩区附近，其反向电流的大小与环境湿度直接相关，因此SnO2二极管具有感湿特性。感湿特征量是反向电流与湿度的关系，如图9-24所示，可以看出，随着相对湿度的增加，反向电流减小。 9.6 图9-23 SnO2湿敏二 管感湿特性曲线 图9-24 SnO2湿敏二极极管的结构 9.6.2 湿敏MOS场效应管 在MOS场效应管的栅极上，涂敷一层感湿薄膜，同时在感湿薄膜上增设一电极，就可构成一种MOS场效应管湿敏器件。 LOGO 第9章 湿敏传感器 本章内容安排 9.1 湿度的基本概念 9.2 湿度传感器的特性参数 9.3 湿度传感器的分类 9.4 陶瓷式湿度传感器 9.5 有机物及高分子聚合物湿度传感器 9.6 半导体结型和MOS型湿度传感器 9.7 固体电解质界限电流式高温湿度传感器 9.8 溶性电解质湿度传感器 湿度的基本概念 9.1.1 相对湿度和绝对湿度 绝对湿度指的是大气中水汽的密度，即单位大气中所含水汽的质量。大气的绝对湿度跟当时气温下的饱和水气压的百分比称为大气的相对湿度，相对湿度描述比较方便，因此，一般采用相对湿度来描述空气的干湿程度。 9.1.2 露点 露点就是指使原来未饱和的水汽变成饱和水汽所必须降低到的温度。可以用露点表示空气湿度的大小。露点与相对湿度的对应关系如图9-1所示。 9.1 图9-1 温度-相对湿度-露点的对应关系 湿度传感器的特性参数 1．湿度量程 湿度传感器能够比较精确测量的环境相对湿度（或绝对湿度）的最大范围，称为湿度敏感器件的湿度量程。 2．感湿特征量——相对湿度特性曲线 湿度传感器都有其自身的感湿特征量，例如电阻、电容、击穿电压、沟道电阻等。湿度敏感器件的感湿特征量随环境相对湿度（或绝对湿度）的变化曲线，称为器件的感湿特征量——环境湿度特性曲线（简称感湿特性曲线）。图9-2是TiO2-V2O5湿度敏感器件的感湿特性曲线。 9.2 图9-2 TiO2-V2O5湿度敏感器件的感湿特性曲线 3．灵敏度 湿度敏感器件的灵敏度就其物理含义而言，应当反映相对于环境湿度的变化器件感湿特征量的变化程度，因此，它应当是器件的感湿特性曲 线的斜率。在器件感湿特性曲线是直线的情况下，用直线的斜率来表示湿度敏感器件的灵敏度是恰当而可行的。 4．湿度温度系数 湿度敏感器件的湿度温度系数是表示器件的感湿特性曲线随环境温度而变化的特性参数。在不同的环境温度下，器件的感湿特性曲线是不同的。显然，器件感湿特性曲线随环境温度的变化越大，由感湿特征量所表示的环境相对湿度与实际上的环境相对湿度之间的误差就越大。因此，环境温度的不同直接影响器件的测湿误差。图9-3给出了Co3O4-TiO2湿度敏感器件的感湿特性曲线随环境温度的变化情况。 图9-3 Co3O4-TiO2湿敏传感器的温度特性 5．响应时间 湿度敏感器件的感湿特征量是随环境相对湿 度而变化的。当环境湿度发生变化时，湿度敏感器件将随之而发生吸湿或脱湿以及动态平衡过程。完成这一过程需要一定的时间，不同的湿度敏感器件完成这一过程所需要的时间是不同的。湿度敏感器件的响应时间就是表示器件完成这一过程所需时间的特性参数。图9-4给出了K2O-Fe2O3湿度敏感器件的响应特性曲线。 6．湿滞回线和湿滞回差 一个湿度