第四章 力敏传感器.pptVIP

2．压电式加速度传感器 压电式加速度传感器的结构图 压电式刀具切削力的示意图 压电式传感器主要性能及其影响因素 1．压电式传感器的主要性能 （1）灵敏度 灵敏度是指输出量（电荷、电压）与输入量（力、压力、加速度、扭矩）的比值。 （2）频率响应 由于压电元件只用于测量一定频率的力学量，在电压放大电路中分析了输出值和灵敏度与频率的关系。若自然频率用 表示，图给出了压电式加速度传感器的相对灵敏度 与频率比 的关系曲线。 图4-31 压电式加速度传感器的频响特性 压电式传感器影响因素 横向灵敏度 环境温度的影响 环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数的影响都很大，它将使传感器灵敏度发生变化，压电材料不同，温度影响的程度也不同。当温度低于400℃时，其压电常数和介电常数都很稳定。 人工极化的压电陶瓷温度的影响比石英要大得多，不同的压电陶瓷材料，压电常数和介电常数的温度特性比铁酸钡好得多。新型的压电材料的居里点为比石英和压电陶瓷的居里点高，可用作耐高温传感器的转换元件。 人工老化处理 环境湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能的影响也很大。如果传感器长期在高湿度环境下工作，其绝缘电阻将会减小，低频响应变坏。现在，压电式传感器的一个突出指标是绝缘电阻要高达 。为了能达到这一指标，采取必要的措施是：合格的结构设计。把转换元件组成一个密封式整体，有关部分一定要良好绝缘，严格的清洁处理和装配，电缆两端必须气密焊封。 电容式力传感器 交流电桥的输出电压为 则交流电桥的平衡条件为 （4-28） 将桥臂上的复阻抗代入式（4-28）可得 及 由此可知，由应变片构成的交流电桥，除了满足电阻平衡条件外，还必须满足电容平衡条件。为此，交流电桥上设置有电阻平衡调节和电容平衡调节。电桥平衡调节电路如图4-11所示。 图4-11 交流电桥平衡调节电路 4.1.5 电阻应变式传感器应用 1．应变式力传感器 （1）柱（筒）式力传感器 图4-12为柱（筒）式力传感器，弹性敏感元件为实心或空心的柱体（截面积为S，材料弹性模量为E），当柱体轴向受拉（压）力F作用时，在弹性范围内，应力与应变呈正比关系。 轴向应变： 横向应变： 应变片粘贴在弹性柱体外壁应力分布均匀的中间部分，沿轴向和周向对称地粘贴多片应变片。贴 图4-12 柱（筒）式力传感器 片在柱面上的展开位置及其在桥路中的连接如图4-12(d)和(e)所示。 图4-12中，在作用力F的作用下采用全桥接法的总应变为 电桥的输出电压为 从而得到被测力F为 （2）环式力传感器 环式力传感器的弹性元件如图4-13所示。与柱式相比，环式弹性元件应力分布变化大，且有正有 图4-13 环式力传感器 负，可以选择有利部位粘贴应变片，便于接成差动电桥。图4-13(b)所示为环式弹性元件的应力分布曲线，从图中可以看出，应变片 所在位置应变为零，故 只起温度补偿作用。 图4-13 环式力传感器 悬臂梁式力传感器是一种结构简单、高精度、应变片容易粘贴、抗偏、抗侧性能优越的称重测力传感器。最小可以测几十克，最大可以测几十吨的质量，精度可达到0.02%FS。 图4-14 悬臂梁 悬臂梁有两种：一种为等截面梁，另一种为等强度梁。等截面梁就是悬臂梁的横截面处处相等的梁， 如图4-14(a)所示。等强度梁的结构如图4-14(b)所示 。 2．应变式压力传感器 应变式压力传感器主要用于流体和气体压力的测量，其弹性元件有筒式、膜片式和组合式等形式。现在以筒式压力传感器为例进行分析。 如图4-15所示，当被测压力较小时，多采用筒式弹性元件，圆柱体内有一个盲孔。在圆筒外表面的筒壁和端部沿圆周方向各粘贴一个应变片，当被测压力 进入筒腔内时，筒体空心部分发生变形，圆筒外表面沿圆周方向产生的环向应变为 图4-15 筒式压