第一章绪论第二章电子光学基础研究报告.pptVIP

电子显微分析; 绪论材料科学研究;一 研究对象;三 电子显微分析在材料研究中的应用;四 电子显微分析特点：;五 其他分析方法及其局限性举例;作业1;第一章 电子光学基础;1.1.2 两种显微镜对比;第二节 光学透镜成像;;1.2.2 光的衍射和光学显微镜分辨本领;;1.2.2.2 光学显微镜的分辨率;提高光学显微镜分辨率的途径: 1、增加介质的折射率； 2、增大物镜孔径半角； 3、采用短波长的照明源★ 。 举例： 采用较大的孔径角来成像，最大的孔径角α=70?-75?， 在物方介质为油的情况下，n≈1.5,其数值孔径 nsin α ≈1.25—1.35;可见光的波长在3900--7600? 结论：光学玻璃透镜分辨本领的理论极限为半波长 2000? 紫外线:200-250 ?, 分辨本领可达100 ? X射线 100-0.5 ?, 还不错,但无法折射聚焦 需要寻找新照明源 ;1.2.2.3 有效放大倍数;第三节 电磁透镜成像;超高压电镜;1.3.2 电子透镜;（2）电磁透镜：旋转对称的电磁场使电子束聚焦。产生这种旋转对称磁场的线圈装置叫电磁透镜。 TEM、SEM：多个电磁透镜的组合。 电磁透镜是一种可变焦距或可变倍率的会聚透镜;磁透镜 ;;;1.3.3 电磁透镜的像差;;球差最小散焦斑半径Δrs(折算到透镜物平面）： Cs—电磁透镜球差系数 电磁透镜孔径半角 ; 2 色差;产生色差的原因： 1、电子枪加速电压不稳定 2、电子束与样品相互作用发生非弹性散射。尽量使样品厚度薄;;4、畸变;1.3.4 电磁透镜分辨本领;衍射效应 ;1.3.5 电磁透镜的景深和焦长;景深（场深）： 透镜的景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离。换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响物像的清晰度。 ;焦长：当透镜焦距和物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，引起失焦 ;作业2;第二章 电子与固体物质的相互作用 Refer to 158 ;总结如下： *Refer to 162;1、背散射电子（back scattering electrons, BE） 电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹性散射，有一部分电子的总散射角大于90°，重新从试样表面逸出，称为背散射电子，又称为初级背散射电子。 特点： 1）能量高，大于50ev； 2）分辨率较低； 3）产额与原子序数Z有关， ;电子束作用下固体样品发射的电子能谱;;3、透射电子（transmision electrons TE) 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，入射电子将穿透试样，从另一表面射出称为透射电子。 如果试样很薄，只有10-20nm的厚度，透射电子的主要组成部分是弹性散射电子，成像比较清晰，电子衍射斑点也比较明锐。 ;