TEM的三种像衬度.pdfVIP

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.. 第 5章 透射电镜的图像衬度及其应用 透射电镜的图像衬度是指荧光屏或照相底板上图像的明暗程度.又叫黑白反差 ,或叫对比度。 由于图像上不同区域衬度的差别,才使得材料微观组织分析成为可能。只有了解图像衬度的形成机 制,才能对各种图像给予正确解释。 透射电子显微像有三种衬度类型,分别为质厚衬度,衍射衬度 和相位衬度。 5.1 质厚衬度原理 试样各部分质量与厚度不同造成的显微像上的明暗差别叫质厚衬度。 复型和非晶态物质试样的衬度是质厚衬度 . 质厚衬度的基础 : 1.试样原子对入射电子的散射 α α 2.小孔径角成象。把散射角大于 的电子挡掉,只允许散射角小于 的电子通过物镜光阑参与 成象。 相位衬度 衍射衬度是一种振幅衬度,它是电子波在样品下表面强度(振幅)差异的反映,衬 度来源主要有以下几种: 1.两个晶粒的取向差异使它们偏离布拉格衍射的程度不同而形成的衬度; 2.缺陷或应变场的存在,使晶体的局部产生畸变,从而使其布拉格条件改变而形成的衬 度; word教育资料 .. 3.微区元素的富集或第二相粒子的存在,有可能使其晶面间距发生变化,导致布拉格条 件的改变从而形成衬度,还包括第二相由于结构因子的变化而显示衬度; 4.等厚条纹,完整晶体中随厚度的变化而显示出来的衬度; 5.等倾条纹,在完整晶体中,由于弯曲程度不同(偏离矢量不同)而引起的衬度. 1.3衍射衬度成像的特点 1.衍衬成像是单束、无干涉成像,得到的并不是样品的真实像,但是,衍射衬度像上衬 度分布反映了样品出射面各点处成像束的强度分布,它是入射电子波与样品的物质波交 互作用后的结果,携带了晶体散射体内部的结构信息,特别是缺陷引起的衬度; 2.衍衬成像对晶体的不完整性非常敏感; 3.衍衬成像所显示的材料结构的细节,对取向也是敏感的; 4.衍衬成像反映的是晶体内部的组织结构特征,而质量厚度衬度反映的基本上是样品的 形貌特征。 2.1明场像 让透射束通过物镜光阑所成的像就是明场像。成明场像时,我们可以只让透射束通过物 镜光阑,而使其它衍射束都被物镜光阑挡住,这样的明场像一般比较暗,但往往会有比 较好的衍射衬度;也可以使在成明场像时,除了使透射束通过以外,也可以让部分靠近 中间的衍射束也通过光阑,这样得到的明场像背景比较明亮 衍射衬度 样品微区晶体取向或者晶体结构不同,满足布拉格衍射条件的程度不同,使得在样 品下表面形成一个随位置不同而变化的衍射振幅分布,所以像的强度随衍射条件的不同发生相应的 变化,称为衍射衬度。 word教育资料 ..  衍射衬度对晶体结构和取向十分敏感,当样品中存在有晶体缺陷时,该处相对于周围完整 晶体发生了微小的取向变化,导致缺陷处和周围完整晶体有不同的衍射条件,形成不同的衬 度,将缺陷显示出来。这个特点在研究晶体内部缺陷时很有用所以广泛地用于晶体结构研. 究。  晶体样品,薄膜样品(金属,陶瓷)的衬度来源于衍射衬度。  衍射衬度通常是单束成像衬度.成像时用透射束或者用衍射束  相位衬度除透射束外,还同时让一束或多束的衍射束参与成象。由于各束的相位相干作用 而得 到晶格(条纹)像或晶体结构(原子)像。用来成象的衍射束(透射束可视为零级衍射束)愈多, 得到的晶体结构细节愈丰富。 相位衬度原理 1.电子束通过试样,相位受到晶体势场的调制,在试样下表面处得到带有晶体结构信息的物面波φ 0(r). 2. 物面波φ0(r)经过物镜的作用,在后焦面上得到衍射束,用衍射波函数Q(g)表示。物镜好象起 了频谱分析器的作用,把物面波中的透射波和各级衍射波分开了。从数学上讲,物镜对φ0(r)进行 了一次富氏变换。记作Q(g)=Fφ0(r) 3. 透射束与衍射束相互干涉后,在像面上成像得到与所选衍射束相对应的晶格条纹象。这个过程, 可理解为 Q(g)乘上相位因子exp(-iX(g))后的富氏逆变换, 其结果是衍射波还原成放大了的物面 波,即像面波Φ

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