传感器与检测技术半导体压阻式传感器.pdfVIP

03投入式液位计 ——半导体压阻式传感器地测试 项目描述 • 投入式液位计广泛应用于环保,水利,电厂,城市供排水,水 文勘探等领域地水位地测量与控制, 图3-1所示。由于它 使用方便,监测精度高,可以为为管理者与维修人员提供准 确地数据支持。 • 投入式液位计是基于所测液体静压与该液体地高度成比例地原理,采用半导体 压阻式传感器（简称压阻式传感器）将静压转化成标准电信号(一般为 4~20mA/1~5VDC),所以又称之为压阻式压力传感器,静压液位计,液位变送器 等。 • 通过本项目地学习,主要给大家介绍半导体压阻式传感器（简称压阻式传感器） 工作原理（压阻效应）以与相关传感器。 知识准备 • 一,压阻式传感器基本概念与分类 • 1.压阻效应 • 当固体材料在某一方向承受应力时,其电阻率（或电阻值 发生变化地现象,叫 压阻效应。 • 2.半导体压阻效应 • 半导体（单晶硅）晶片受到外力作用,产生肉眼无法察觉地极微小应变,其原子 结构内部地电子能级状态发生变化,从而导致其电阻率产生剧烈地变化,表现在 由其材料制成地电阻器阻值发生极大变化。这种现象称为半导体压阻效应。 • • • 硅地压阻效应不同于金属应变效应,前者电阻随压力地变 化主要取决于电阻率地变化,后者电阻地变化则主要取决 于几何尺寸地变化（应变）,而且前者地灵敏度比后者大 50～100倍。因此,对于金属材料来说, 比较小,但对于半导 体材料, • ,即因机械变形引起地电阻变化可以忽略,电阻地变化率主 要是由电阻率ρ引起地。 • 在弹性变形限度内,硅地压阻效应是可逆地,即在应力作 用下硅地电阻发生变化,而当应力除去时,硅地电阻又恢复 到原来地 值。虽然半导体压敏电阻地灵敏系数比金属高 很多,但有时还觉得不够高,因此,为了进一步增大灵敏度, 压敏电阻常常扩散（安装）在薄地硅膜上,压力地作用先 引起硅膜地形变,形变使压敏电阻承受应力,该应力比压力 直接作用在压敏电阻上产生地应力要大得多,好像硅膜起 了放大作用一样。 • 3.压敏电阻地分类 • 利用压阻效应制成地电阻称为固态压敏电阻,也叫力敏电 阻。用压敏电阻制成地器件有两类 ：一种是利用半导体材 料制成粘贴式地应变片;另一种是在半导体地基片上用集 成电路地工艺制成扩散性压敏电阻,用它作为传感器元件 制成地传感器,称为固态压阻传感器,也叫扩散型压阻式传 感器。 二,压阻式传感器基本结构与工作原理 • （一）体型半导体电阻应变片 • 1．结构形式与特点 • 体型半导体应变片是从单晶硅或锗切下薄片制成。主要优点是灵敏系数大,横 向效应与机械之后极小;温度稳定性与线性度比金属电阻应变片差地多。 • 2．测量电路 • 半导体应变电桥地非线性误差很大,故半导体应变电桥除 了提高桥臂比,采用差动电桥等措施外,一般还采用恒流源 • 电桥地输出电压与电阻变化成正比,与恒流源电流成正比, 但与温度无关,因此测量不受温度地影响。 • 若用恒压源给电桥供电时 • 因此恒压源供电不能消除温度影响。 （二）扩散型压阻式压力传感器 • 1．扩散型压阻式压力传感器结构 • 压阻式压力传感器主要由外壳,硅杯膜片与引线组成, • 压阻式压力传感器地核心部分是 块圆形或方形地硅膜片（通常叫硅杯）。 在硅膜 • 片上,利用集成电路工艺制 • 作了四个阻值相等地电阻。 • 硅膜片地表面用SiO2薄膜 • 加以保护,并用铝质导线 • 做全桥地引线 • 硅杯在高温下用玻璃粘接剂粘贴在热胀冷缩系数相近地玻 璃基板上。将硅杯与玻璃基板紧密地安装到壳体中,就制 成了压阻式压力传感器 压阻式固态压力传感器地隔离,承压膜片 隔离,承压 膜片可以将腐 蚀性地气体,液 体与硅膜片 隔 离开来。 2022/4/5 13 压阻式固态 压力传感器 内部结构