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第*页 * 第六章 光学薄膜特性测试与分析 薄膜光学与技术 Thin Film Optics and Technology * 目的: 1. 为改进工艺提供依据； 2. 检验成品质量。 内容: 光谱透射率/光谱反射率；光学常数(n,k,d)； 散射；吸收；应力；附着力；硬度；抗激光损伤阈值；结构、组分…等等。 * 第一节 透射率和反射率测量 第二节 薄膜光学参数测量 第三节 薄膜机械特性(应力、附着力）测量 * 光学薄膜的类型和符号 * 6.1 薄膜透射率和反射率的测量 光谱仪 测量波段 紫外-可见近红外分光光度计 红外分光光度计 * 双光路分光光度计测量透射率原理图 L－光源，Ｓ－测试样品，Ｍ－调制板，ＭＣ－单色仪，Ｄ－探测器 1. 分光光度计 原理：仪器采用双光路测量，其中一束透过测试样品，叫测量光束；另一束不透过测试样品，叫参考光束。一只探测器，交替地对两束光接收并进行比较，获得透射率。再按照单色仪的出射波长进行自动光谱扫描，就可直接记录出透射率随波长变化的光谱透射率曲线。 * 目前国际上主要分光光度计的性能参数 型号/厂家 光谱范围 /nm 光谱分辨率 /nm 光度精度 （可见区） 反射率测试 偏振测试 Lambda900 PE公司