《半导体材料》第4讲：硅单晶的制备培训课件.pptVIP

制备时把晶种微微的旋转向上提升，融液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定，就可以周而复始的形成结晶，最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体，即硅单晶锭。 　　拉晶开始，先引出一段直径为3～5mm，有一定长度的细颈，以消除结晶位错，这个过程叫做缩颈（引晶）。然后放大单晶体直径至工艺要求，进入等径阶段，直至大部分硅融液都结晶成单晶锭，只剩下少量剩料。 直拉法工艺流程 炉体、籽晶、硅多晶，掺杂剂，石英坩埚 清洁处理 装炉 抽真空（或通保护气体 加热熔化 润晶（下种） 缩颈（引晶） 放肩 等径生长 降温出炉 性能测试 将籽晶放入溶液中 为消除位