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- 2022-05-20 发布于江苏
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材料物理复习题
两种成核理论的对比:微滴理论(毛细作用理论)—热力学—凝结论,适用于描述大的临界核,可用热力学参数。原子理论—统计物理学—原子成核与生长模型,适用于描述小的临界核。
④
3. 薄膜的形成的物理过程
①小岛阶段—成核和核长大,透射电镜观察到大小一致(2-3nm)的核突然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向的第三维。说明:核生长以吸附单体在基片表面的扩散,不是由于气相原子的直接接触。
②结合阶段—两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度,减少了在基片所占的总面积。而新出现的基片面积上会发生二次成核,复结合后的复合岛若有足够时间,可形成晶体形状,多为六角形。核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散(以表面扩散为主)以便表面能降低。
③沟道阶段—圆形的岛在进一步结合处,才继续发生大的变形→岛被拉长,从而连接成网状结构的薄膜,在这种结构中遍布不规则的窄长沟道,其宽度约为5-20nm,沟道内发生三次成核,其结合效应是消除表面曲率区,以使生成的总表面能为最小。
④连续薄膜—小岛结合,岛的取向会发生显著的变化,并有些再结晶的现象。沟道内二次或三次成核并结合,以及网状结构生长→连续薄膜。
4. 怎样描述薄膜与基片结构不匹配及解决措施
af—薄膜原材料的晶格常数;
as—基片原材料的晶格常数。
描述——晶格常数相差百分比(af- as)/ af
当晶格常数相
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