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材料微观分析测试技术 科研和新产品开发→产品鉴定、事故分析和仲裁 第一页，共三十四页。 　　电子显微镜技术是材料形貌学研究的主 要手段，主要有两类电子显微镜： 　　　 透射式电子显微镜 扫描式电子显微镜 透射电镜－－分辨率２～３? 扫描电镜－－分辨率３０～１００? （１?＝10-10 m =10-8 cm =10-4 μm =10-1 nm） （一）电子显微镜分析 第二页，共三十四页。 １、电子光学基础 分辨率: 指两个可以分辨的物体间的最小距离 光学显微镜以可见光为光源，由于可见光波长大于300-700nm,且具有波动性，所以限制了光学显微镜的分辨率，也就是说对分辨率的限制不是来自于显微镜本身的部件，而是由所采用的光源所决定。在微米数量级以下细节，放大倍数无限大也无法分辨。要提高显微镜的分辨率必须寻找短波长的光源。这便出现了用电子束作光源的电子显微镜 第三页，共三十四页。 基于德布罗理论：所有微观离子（电子、中子、离 子）的性质与可见光相同。这就使电子束具有成为新 光源的可能性 又：电子波长 λ=1.226/√V nm (V 加速电压） 新的光源----短波电