真空的获得和测量技术.docxVIP

真空的获得和测量技术 真空度的不同，获得和测量技术也有很大的不同。首先，从获得的压力来看，从低真空到极高真空来分类如下表1所示。  表1 真空的分类  低真空 105～102Pa 中真空 102～10-1 Pa 高真空 102～10-1 Pa 超高真空 10-5～10-8 Pa 极高真空 10-8 Pa以下 真空获得的方法可分成以下三类。  (1)利用机械力的真空泵;  (2)利用蒸汽喷射的真空泵;  (3)利用表面现象的真空泵。  这些泵的工作范围如图1所示。  图1 各种真空泵的工作范围  各种泵可能到达的压力和抽速是组成真空系统所必须的。  另外，欲获得高的真空度，适当的使用多台泵是必要的。  超高真空状态的实现单用泵来抽是不行的，表面吸附的气体要烘烤除气或放电情况是必要的。  极高真空的获得要使用低温泵，对于真空容器的材料的选择和内壁的处理是必不可少的。  真空的压力测定方法  在较高压力时(105～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。  在103～10-2 Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。  在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。  表2 真空计的适用压力范围  真空计的名称 可测的压力范围(Pa) 水银压力计(U型管) 105～102 油压力计(U型管) 105～102 油压力计(U型管) 3*103～1 麦克劳真空计(一般型和特殊型)  103～10-3 弹性变形真空计 105～102 隔膜真空计(机械式) 105～102 隔膜真空计(电气式) 105～10-3 电离真空计(三极管型) 10-1～10-5 超高真空用B-A型 10-2～10-6 极高真空用热阴极磁控计 10-5～10-10 高真空用(舒尔茨型) 10～10-2 冷阴极真空计 1～10-5 皮拉尼真空计 104～10-2 热电偶真空计 102～10-1 热敏电阻真空计 102～10-1 粘性真空计 1～10-5 克努曾真空计 10-1～10-5