黄光制程简介.pptVIP

2013/03 Ningbo Chipex Semiconductor Co., Ltd * Advanced Packaging Confidential 凡在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射 下，以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶，简称负胶(Negative,photoresist)； 凡在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射 下，以降解反应为主的光刻胶称为正性光刻胶，简称正胶(Positive，photoresist ) 。 光刻胶的分类 2013/03 Ningbo Chipex Semiconductor Co., Ltd * Advanced Packaging Confidential 正胶 负胶 2013/03 Ningbo Chipex Semiconductor Co., Ltd * Advanced Packaging Confidential 1、灵敏度 灵敏度的定义 单位面积上入射的使光刻胶全部发生应的最小光能量或最小电荷量（对电子束胶），称为光刻胶的灵敏度，记为 S ，也就是前面提到过的 D100 。S 越小，则灵敏度越高