微电子技术发展现状与趋势.pptVIP

* * Analog Devices 公司（ADI）制造的单片双轴微加速度传感器ADXL202，图a至图d分别为封装照片、加速度敏感结构静止状态、测量状态和芯片照片。测量加速度的传感器机械结构位于芯片中心，是利用表面微加工技术制造的悬空多晶硅梳状叉指电容，BiMOS工艺的信号处理电路分布在结构周围。当有加速度作用时，作用在可动叉指的惯性力改变了与固定叉指之间的距离，引起叉指电容变化，通过集成电路测量电容的变化得到加速度信号。 * * * * * * * * * * * * RF MEMS开关 应用前景： 军用领域：以RF MEMS开关技术为基础，可研制RF MEMS移相器、智能天线、T/R模块，是实现上万单元相控阵天线的关键技术，对雷达预警、战术战略侦察，卫星组网和制导等军事领域均有重要意义 民用领域：由于开关的低功耗、集成化的独特优点，将在手机等移动通信设备上得到广泛应用。 RF MEMS开关 应用举例： 开关在无线通讯中的应用：因其插入损耗小、隔离度高、功耗低、体积小等特点，正符合未来通信系统向微型化发展的需求。 RF MEMS开关 应用举例： 开关在移相器中的应用：在CPW传输线上周期性加载高Q值的并联开关，在中心信号线和桥之间加电压后，将改变CPW传输线的负载电容，从而改变传输线的特性阻抗和传输系数来实现相移。相控阵天线每个单元都有移相器，在计算机