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第 第1页共1页 电子行业FFU设计 洁净空调室为维持室内高洁净度，必须去除室内所产生的微 尘粒子，因此对气流组织有严格的要求。对于IS03-IS06级 （广1000级）的洁净室目前釆用上顶棚送风、下地板回风的垂直 单向流气流组织。对于IS07“IS08级（10000=10000级）的洁净室 常采用上顶棚送风、下侧回风口的非单向流气流组织。（2）恒 温恒湿控制精度高由于电子产品的制造工艺对温、湿度变化极为 敏感，所以在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范 围内。洁净空调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的直接 数字控制（Direct Digital Control,DDc）系统，当室内空气参数 达不到设计要求时，可通过DDC控制系统来自动调节各阀门开大 或关小。这样就不至于使房间温、湿度波动太大，影响产品质量 和成品率。（3）新风量大，换气次数高在电子产品制造过程中 需使用有毒的化学品，会产生有毒的废气，必须排出室外。为保 持洁净室内正压和满足卫生条件，必须补充大量新风。为了保持 高洁净度，洁净室应有较高的换气次数，同时室内的空气流速不 能太大，一般在0、4m/s以下。（4）洁净室空调冷负荷大但湿 负荷很小，热湿比值接近无限大电子行业的洁净室一般都置于建 筑物的中部，虽然通过围护结构的得热量较小，但洁净室内工艺 设备的发热量相当大，即全年需要排除室内余热量。如6in晶圆 厂的单位面积耗电量约为1、35kW/m2,而8in晶圆厂的单位面积 耗电量则约达到了 1、9kW/m2o洁净室内一般无散湿源，工作人员 也是密封在防尘服中。为了减少静电现象，空气不能太干燥，这 就要求空调系统处理室内回风时不能是减湿过程。二：FFU洁净 空调系统大循环量的回风的冷却由排数少、迎面风速低、水温为 12~17￡的换热盘管承担，回风从回风道到顶棚时经换热盘管除去 湿热。由于该换热器的盘管温度高于回风的露点温度，换热器的 表面没有液体水析出，故称其为干盘管（Dry Coil） o室外新风经 新风机组（Make-up Air Unit,MAU）、粗中效过滤、预热、降 焙、减湿、再热、高效过滤后送入顶棚。模块化小型FFU安装在 顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经过IIEPA或ULPA过滤送 入室内。FFU系统与其他方式相比有以下优点：（1）灵活性大， 满布率高对IC工厂而言洁净空调系统的灵活性是很重要的。如 果车间内洁净度随工艺变化而需作区域性调整时，可通过改变FFU 风量或置换盲板来改变局部地区的洁净度。当密集布满时，满布 率可达 85、5%o （2） FFU上部顶棚为负压，可起负压密封作用顶 棚内呈负压，洁净室内空气压力大于顶棚内空间的压力。如果FFU 与支架密封处有缝隙，负压使得未经高效过滤的空气不能进入室 内，对保证洁净室的洁净度有利。（3）风系统阻力小，出风口 风速低FFU的迎风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右；回风道 截面积大，回风道阻力小于15Pa；多孔地板及隔栅等的阻力较 小。回风全部阻力（包括多孔地板、隔栅风道）、FFU阻力及末级 过滤器的阻力，总和小于250Pa。FFU出口风速一般为0、38?0、 45m/so (4)单位风量能耗低采用FFU后不需要增设加压风 机，不需专设机房，同时避免了送风管路的阻力。当FFU采用 DC/EC (电子整流)电动机时，电动机的效率可达75%~80%,每台 可根据过滤器压降进行调速控制以节约能耗。所以单位风量的能 耗一般比大型离心风机的集中系统低。室外新风W经新风机组净 化、降温、减湿、再热处理后送入顶棚。为使洁净室的温湿度控 制得更平稳，通常将处理后的新风调整到洁净室的要求状态N,由 DDC实现净化新风的精确控制。由于新风机组采用了喷淋洁净水的 喷淋段和再热段，所以L点应是新风机器露点，位于N点的垂直 下方。经过安装在回风道上的FFU处理后的II状态回风在顶棚内 与经过新风机组处理的新风混合，形成0状态的送风，再由FFU 加压过滤送入洁净室内。送入室内的洁净空气吸收显热后变为室 内状态N, —部分由工艺设备的排风装置排到室外，另一部分再经 FFU处理后回用。三：FFU洁净空调系统设计FFU洁净空调系统设 计的核心是确定换气次数。由于按室内空调冷负荷计算得出的风 量一般与按室内允许含尘浓度计算得出的总风量不同，所以对应 于换气次数也就有两个不同的值。在设计FFU洁净空调系统时， 应分别计算出这两个换气次数，然后取较大值。如果最终确定的 换气次数对于空调冷负荷来说有较多的富余量，则可由DDC调整 FFU的进水温度和出风参数来实现室内温、湿度参数的稳定。