电荷耦合器件PPT课件.ppt

电荷耦合器件;电荷耦合器件;优点 固体化、体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、寿命长 图像畸变小、尺寸重现性好 光敏单元之间几何尺寸精度高，可得到较高的定位精度和测量精度，具有较高分辨力 自扫描，具有较高的光电灵敏度和较大的动态范围 视频信号便于与微机接口;一、CCD的工作原理 （一）信息电荷的产生和存储 ;（a）、在栅极（金属电极）加正偏压之前，P型半导体中的空穴（多子）的分布是均匀的。;（b）、当在金属电极上施加一正向电压时，在电场的作用下，P型硅区域里的空穴被赶尽，从而形成一个耗尽区，也就是说，对带负电的电子而言是一个势能很低的区域，称为势阱;（c）、当有光线入射到半导体硅片上，在光子的作用下，半导体硅片上就会产生电子和空穴，光生电子被附近的势阱所俘获，而同时光生空穴则被电场排斥出耗尽区。 此时势阱内所吸收的光生电子数量与入射到势阱附近的光强成正比。这样的一个MOS结构元称为MOS光敏元或叫做一个像素，把一个势阱所收集的若干光生电荷称为一个电荷包。;通常在半导体硅片上制有几百或几千个相互独立的MOS光敏元，如果照射在这些光敏元上的是一幅明暗起伏的图像，那么这些光敏元就感生出一幅与光照强度相对应的光生电荷图像。;（二）;信息电荷的转移 ;二、CCD的结构 （一）线阵电荷耦合摄像器件;;;（二）面阵电荷耦合摄像器件;三、CCD应用举例 尺寸测量;;物体缺陷检测;光栅传感器;光栅传感器;光栅传感器-栅距;特点 精度高 大量程测量兼高分辨力 可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化 具有较强的抗干扰能力 高精度光栅的制作成本高;应用 工具显微镜、三坐标测量、机床、数控机床、测振动、速度、应力、应变等。;光栅传感器;透射式光栅;反射式光栅; 按应用类型：长光栅和圆光栅; 圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.;光栅数字传感器功能;光栅数字传感器的原理：莫尔条纹;莫尔条纹演示;横向莫尔条纹;莫尔条纹的间距B与两光栅线纹夹角θ之间的关系为：;莫尔条纹特点：;莫尔条纹特点：;莫尔条纹特点：;莫尔条纹特点：;莫尔条纹位移测量原理;莫尔条纹位移测量原理;光栅输出电压信号的幅值为光栅位移量x的函数，即：;位移量为脉冲数与栅距的乘积：;细分技术;光栅传感器的应用