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3、清洗机 、清洗工艺流程 预 清 洗 二流体清洗 超声波 清洗剂 清洗剂 1 组 盘刷 清洗剂 盘刷 纯水 滚刷 清洗剂 盘刷 清洗剂 滚刷 纯水 二流体 2 组 高压喷淋 纯水 风刀干燥 除静电 风刀干燥 除静电 成品检验 、研磨工序洁净度、温湿度、静电要求 研磨工序研磨间、清洗间均属于高洁净生产区域，为降低产品损失，避免因环境不稳定对产品质量造成的影响，对本工序洁净度、温湿度、静电作如下特殊要求： 1、洁净间含义 （1）洁净间最主要的目的在于控制与产品接触的空气洁净度及温湿度， 使产品在一个可控而且良好的环境空间中生产，此空间称为洁净间。 （2）换言之洁净间定义为：可以将一定空间范围内，空气中的微尘粒子、 有害空气、细菌等污染物排出，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、 气流速度与气流分布、噪音、震动及照明、静电控制到在某一范围内，符 合特别设计的密闭环境，不论外在空气等条件如何变化。 （3）定义洁净间，可以按照洁净等级的不同而定义，在我国标准中，洁净 度是用每升空气中所含的大于或等于的尘埃数量来衡量。 2、洁净间着装要求 （1）进入无尘室工作人员需穿戴合适之无尘衣、鞋，不可穿着过宽或 过紧的