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第节 电容传感器的测量电路分析 、测量电路 2. 交流不平衡电桥电路分析 （2） 可以作图来分析，如图(b) b）图(b)所示，以 为参变量作相角 和 的关系曲线。 结论:? 第节 电容传感器的测量电路分析 、测量电路 2. 交流不平衡电桥电路分析 （2） 可以作图来分析，如图(b) b）图(b)所示，以 为参变量作相角 和 的关系曲线。 结论:? 第节 电容式传感器工作原理及类型 、基本原理 电容器的基本原理可以分以下两种情况： （1）平行板电容器的工作原理 用两块金属平行板作电极，可构成最简单的平行板电容器，如图所示，当忽略边缘效应时，其电容量C 第节 电容式传感器工作原理及类型 、基本原理 （1）平行板电容器的工作原理 （2）同轴圆柱形电容器 由两个同心圆柱状极板 构成同轴圆柱状电容器 第节 电容式传感器工作原理及类型 、基本原理 （2）同轴圆柱形电容器 由平行板电容工作原理可知，在 三个参数中保持其中两个不变，改变另一个参数就可以使电容C改变。所以一般电容式传感器，可分为以下三种类型。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 如图所示，可以通过角位移 或直线位移 的变化来改变 两极板之间的覆盖 面积S 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 （1）角位移 改变一个 角，则 （线性关系） 其中 （即 为 初始电容量） （2）直线位移 当其中一极板移动距离x时， 则 (线性关系） 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 （2）直线位移 其中： 特点： ?上述电容 与角位移 ， 与直线位移x 均呈线性关系。 ?上述电容器灵敏度K 其大小均与初始值 有关。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 1. 变面积（S）型 特点： ?变化位移量（x或 ）不能太大，否则会产生非线性特性的边缘效应，因为边缘电场分布不均匀的原故。 ?上述电容器，多数用来检测位移等参数。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （1）平行板电容器 如图所示，此电容器 相当于两个电容 和 相串 联。其中 为两极板间两种介质 的厚度。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （1）平行板电容器 由此可见：在 和 （一般为空气介电常数）不变的情况下，变化 时，则电容器发生变化，可用作介质介电常数测量仪。反之， 不变时，改变 则用作测厚仪使用。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （2）同轴圆柱状电容器 如图所示，总电容器相当于 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 2. 变介质介电常数（ ）型 （2）同轴圆柱状电容器 由此可见：传感器电容量C与液位高度 成线性关系，所以可以用作液位测量仪。 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 如图所示，其中定板1和动板2 当动板2移动，改变间距 ， 从而改变了电容量C 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 当变化一个 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 结论： ?上述表明:在 ?非线性误差 ?灵敏度： 第节 电容式传感器工作原理及类型 、传感器类型及特点 3. 变极板间距（ d）型 （1）单极式平行板电容器 结论： ?灵敏度： 显然 越