硅基非球面柱面微透镜阵列制备方法.docx

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0.?? 引 言 非球面柱面微透镜可以通过调整曲面常数和非球面系数来修正球面透镜[1]在准直、聚焦匀化系统中所带来的球差[2-3],在提升光学性能的同时减小光电系统的体积。目前在光学仪器、图像、光电子工业等方向得到了广泛的应用。 数值孔径是非球面柱面微透镜的重要指标参数之一,提高其数值孔径[4-5]对于减小光电系统体积、提高系统集成度具有非常重要的意义。传统的非球面柱面透镜通常使用石英或玻璃基底。在红外波段,石英或玻璃基底非球面柱面透镜的数值孔径根据计算理论值小于1.45。对于玻璃基底非球面透镜,通常制作方法是在高温下利用超精密加工模具将玻璃模压成型[6],受限于模具超精密加工刀具的尺寸,微柱

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