基于MOCVD生长的4.6 μm中红外量子级联激光器.docx

0.?? 引　言 量子级联激光器(Quantum Cascade Laser，QCL)是一种单极性器件，由于其采用子带跃迁原理，激射波长可以覆盖中红外到太赫兹波段，近年来，随着量子级联激光器在连续模式下功率性能的不断提升，它在气体检测、自由空间光通信以及红外对抗等领域逐渐得到了广泛应用[1]。早期，高功率的量子级联激光器主要是采用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy，MBE)技术生长方式，进行原位监控，生长厚度和界面控制更精准，Faist等人使用MBE成功研制了世界上第一个量子级联激光器，波长为4.2 μm[2]，并在2001年，首次实现室温连续工作[3]。美国西北大学的R