基于EMD-CF的级联光栅微振动传感器光谱优化算法.docx

0.?? 引　言 微振动信号普遍存在于各种精密机械设备当中，并对设备的运行产生不利影响。以航天器为例，飞轮系统、天线和帆板驱动等部件的不平衡运动产生的微振动信号，直接影响航天器姿态控制的稳定度[1]。而对于精度高达数微米的数控机床而言，工作过程中产生的微振动信号对进给、主轴、切削等部件带来干扰，导致加工精度降低[2]。因此，对精密机电设备的微振动信号进行主动控制和减弱至关重要，而这依赖于对微振动信号的准确测量。 凭借着抗电磁干扰、无源、高精度等优点，光纤传感器在复杂环境下的高精度参数测量中得到了广泛应用[3-4]。目前已经报道了多种基于光纤干涉仪的振动传感器，包括Michelson干涉仪振动传