CMOS制程与光罩(很好)资料.pptVIP

Page * CMOS –step 6 製作Contacts 沉積 氧化層 沉積 光阻 光阻成像 *CONTACT 光罩 作用區及閘極用同一個光罩 CONTACT 光罩 p+ p+ p+ n n+ n+ n+ CONTACT 光罩 . Page * CMOS –step 6 製作Contacts 沉積 氧化層 沉積 光阻 光阻成像 *CONTACT 光罩 作用區及閘極用同一個光罩 蝕刻 氧化層 p+ p+ p+ n n+ n+ n+ . Page * CMOS –step 6 製作Contacts 沉積 氧化層 沉積 光阻 光阻成像 *CONTACT 光罩 作用區及閘極用同一個光罩 蝕刻 氧化層 移除光阻 沉積 metal1 接觸點作完要立刻作，才不會長出天然氧化層 平坦化 p+ p+ p+ n n+ n+ n+ . Page * CMOS –step 7 製作Metal 1 沉積 光阻 p+ p+ p+ n n+ n+ n+ METAL1 光罩 METAL1 光罩 . Page * CMOS –step 7 製作Metal 1 沉積 光阻 光阻成像 *METAL1 光罩 p+ p+ p+ n n+ n+ n+ METAL1 光罩 METAL1 光罩 . Page * CMOS –step 7 製作Metal 1 沉積 光阻 光阻成像 *METAL1 光罩 蝕刻 m